[发明专利]铝钛合金溅镀靶材及其制作方法

权利要求书

1.一种铝钛合金溅镀靶材，其中所述铝钛合金溅镀靶材主要由铝及钛所组成，该铝钛合金溅镀靶材包含多个相同尺寸的预定区域，每一预定区域分别由基底相及析出相所组成，其中以整体铝钛合金溅镀靶材中钛的含量为X重量百分比，当0.1<X≤1.0时，该析出相相对于基底相的平均面积比介于X-0.1%至X+0.1%之间，且该析出相相对于基底相的面积比标准差低于0.3X%。

2.如权利要求1所述的铝钛合金溅镀靶材，其中所述铝钛合金溅镀靶材含有多个铝钛合金晶粒，该铝钛合金晶粒的粒径不大于100微米。

3.一种铝钛合金溅镀靶材，其中所述铝钛合金溅镀靶材主要由铝及钛所组成，该铝钛合金溅镀靶材包含多个相同尺寸的预定区域，每一预定区域分别由基底相及析出相所组成，其中以整体铝钛合金溅镀靶材中钛的含量为X重量百分比，当1.0<X≤2.0时，该析出相相对于基底相的平均面积比介于4X-1%至4X+1%之间，且该析出相相对于基底相的面积比标准差低于1X%。

4.如权利要求3所述的铝钛合金溅镀靶材，其中所述铝钛合金溅镀靶材含有多个铝钛合金晶粒，该铝钛合金晶粒的粒径不大于100微米。

5.一种铝钛合金溅镀靶材，其中所述铝钛合金溅镀靶材主要由铝及钛所组成，该铝钛合金溅镀靶材包含多个相同尺寸的预定区域，每一预定区域分别由基底相及析出相所组成，其中以整体铝钛合金溅镀靶材中钛的含量为X重量百分比，当2.0<X≤3.0时，该析出相相对于基底相的平均面积比介于6X-2%至6X+2%之间，且该析出相相对于基底相的面积比标准差低于2X%。

6.如权利要求5所述的铝钛合金溅镀靶材，其中所述铝钛合金溅镀靶材含有多个铝钛合金晶粒，该铝钛合金晶粒的粒径不大于100微米。

7.一种铝钛合金溅镀靶材的制作方法，其包含：

a、熔炼含有铝及钛的原料，以获得铝钛合金熔汤；

b、将所述铝钛合金熔汤注入模具中，并且同时冷却该模具，以令该铝钛合金熔汤铸浇形成铝钛合金铸锭，其中该模具的内模最大冷却面的面积/总容积大于0.1cm²/cm³以上；以及

c、将所述铝钛合金铸锭进行热机处理，以获得所述铝钛合金溅镀靶材。

8.如权利要求7所述的铝钛合金溅镀靶材的制作方法，其中所述步骤b包括以3°C/秒以上的冷却速率冷却该模具。

9.如权利要求8所述的铝钛合金溅镀靶材的制作方法，其中所述步骤b包括将该模具置于循环水路中，以冷却该模具。

10.如权利要求7所述的铝钛合金溅镀靶材的制作方法，其中所述步骤c包括于200°C至600°C下进行热机处理。

11.如权利要求10所述的铝钛合金溅镀靶材的制作方法，其中该热机处理为退火处理及机械处理的组合，其中该机械处理为热锻造处理、热压延处理或其组合。