[发明专利]一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备及工艺流程

说明书

技术领域

本发明属于显示面板生产领域，涉及AMOLED Frit的生产工艺，具体涉及一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备及工艺流程。 

背景技术

在平板显示制造业业界，众所周知Frit材料无疑为水平最好的封装材料。而Frit材料在未固化前需要使用UV胶进行整版的定型、固化，而后再进行Laser固化。目前UV固化流程为，先使用带有Spot UV（点UV）的贴合机（VAS）做几个固化点，进行UV材料的预固定，然后再送至专门的UV固化机进行UV固化，UV固化后送至Laser固化机进行Laser固化。显示面板的生产对环境洁净度，避免擦花等要求很高，生产过程中多次转移基板，无疑增加了坏板率，而且将UV固化分为两个工序制作，增加了腔室数量，增加了动能消耗，人工维护等等。如果将结构简单的UV固化机与紧接其后工艺的Laser固化机能够合为一体，可以提高生产线的集成性能，节省动能的投入和管线布置，减少人工维护等等。 

发明内容

本发明的目的在于解决现有技术的缺陷，提供一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备及工艺流程，提高生产线的集成性能，减少灰尘微粒的产生，提高提高良品率。 

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案： 

一种用于AMOLED Frit固化的一体化设备，包括玻璃载台部分、UV固化部 分和Laser固化部分，所述玻璃载台部分、UV固化部分和Laser固化部分的位置分布呈T型结构，所述玻璃载台部分位于T型结构的竖向端部，UV固化部分和Laser固化部分分别位于T型结构横向的两个端部，本设备还包括位于一侧的控制与动力部分；沿T型结构的竖部设置有第一导轨，玻璃载台部分安装在第一导轨上可以沿第一导轨滑动，沿T型结构的横部设置有第二导轨，UV固化部分和Laser固化部分安装在第二导轨上可以分别沿第二导轨滑动。 

所述玻璃载台部分包括带有氮气气浮的玻璃载台，由气缸驱动的对位固定装置，激光校正装置及对位CCD；所述UV固化部分包括可移动的UV灯架，UVmask和UV mask对位装置；所述Laser固化部分包括Laser激光架台，激光发生器一，Laser Mask和Laser Mask对位装置；所述控制与动力部分包括控制机构和动力部分。 

所述控制机构和动力部分包括激光发生器二，为设备提供工作电压的变压器，控制设备各部分工作的控制PC。 

一种用于AMOLED Frit固化的工艺流程，包括以下步骤： 

1）玻璃入料：采用机器人或者手工方式将玻璃放置在玻璃载台上，然后由气缸驱动对位固定装置夹持好玻璃，进行CCD对位，调整好位置后，由真空穴吸附将玻璃与玻璃载台固定，对位固定装置松开，然后玻璃载台沿第一导轨滑动，将玻璃运送至设备内部待加工处； 

2）UV固化：玻璃被运送至待加工位置后，UV固化部分沿第二导轨滑动，移动到玻璃上方，首先进行UV mask对位，在对位完成之后，进行UV灯照射，在UV固化完成之后，UV固化部分动作回到原处； 

3）Laser固化：在UV固化完成之后，Laser固化部分沿第二导轨滑动，移动至玻璃上，首先进行Laser Mask对位，之后Laser激光头和玻璃载台进行对位， 然后进行Laser固化，Laser固化完成后，Laser固化部分回到原处。 

步骤1）中在玻璃载台上设置有静电消除装置，玻璃入料前消除静电。 

步骤2）中UV灯照射产生的臭氧通过排气装置排放到排气管道内。 

步骤1）中玻璃放置在玻璃载台上时，玻璃载台与玻璃间充有氮气，使玻璃处于悬浮状态。 

本发明所述的用于AMOLED Frit固化的一体化设备及工艺流程，将UV固化流程与Laser固化流程结合为一体，在一个工序完成Frit固化工艺，可减少基板的搬运次数，同时在一台设备上完成两种固化工艺，可减少灰尘微粒的产生，提高良品率，将两种固化设备集成在一起，集成度高，又可以节省空间，便于维护，便于研发时采集数据，可广泛用于研发线与量产线。 

附图说明

图1为本发明用于AMOLED Frit固化的一体化设备的结构示意图； 

图2为本发明用于AMOLED Frit固化的一体化设备的工作状态示意图； 

图3为本发明用于AMOLED Frit固化的一体化设备的工作状态示意图； 

图4为本发明用于AMOLED Frit固化的一体化设备的工作状态示意图；