[发明专利]用于微电子装置中接合的具有痕量加入物的3N铜线

权利要求书

1.一种用于微电子学中接合的具有痕量加入物的3N铜线，其包含Ag、Ni、Pd、Au、Pt和Cr的群组中的一者或一者以上作为耐腐蚀性加入材料，其中所述耐腐蚀性加入材料的浓度在约90wt.ppm到约980wt.ppm之间。

2.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约90wt.ppm到约980wt.ppm的Ag。

3.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约90wt.ppm到约980wt.ppm的Ni。

4.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约90wt.ppm到约980wt.ppm的Pd。

5.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约90wt.ppm到约980wt.ppm的Au。

6.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约90wt.ppm到约980wt.ppm的Pt。

7.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约90wt.ppm到约980wt.ppm的Cr。

8.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约10wt.ppm到约50wt.ppm的Ag、约10wt.ppm到约50wt.ppm的Ni和约10wt.ppm到约880wt.ppm的Pd。

9.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约10wt.ppm到约300wt.ppm的Ag和约10wt.ppm到约100wt.ppm的Ni。

10.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约10wt.ppm到约300wt.ppm的Ag、约10wt.ppm到约100wt.ppm的Ni和约10wt.ppm到约580wt.ppm的Pd。

11.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约10wt.ppm到约300wt.ppm的Ag和约10wt.ppm到约200wt.ppm的Ni。

12.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约10wt.ppm到约300wt.ppm的Ag、约10wt.ppm到约200wt.ppm的Ni和约10wt.ppm到约480wt.ppm的Pd。

13.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约10wt.ppm到约50wt.ppm的Ag、约10wt.ppm到约50wt.ppm的Ni和约10wt.ppm到约50wt.ppm的Pd。

14.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约10wt.ppm到约50wt.ppm的Ag、约10wt.ppm到约50wt.ppm的Ni和约10wt.ppm到约50wt.ppm的Cr。

15.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约10wt.ppm到约50wt.ppm的Ag、约10wt.ppm到约50wt.ppm的Ni、约10wt.ppm到约50wt.ppm的Pd和约10wt.ppm到约50wt.ppm的Cr。

16.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约10wt.ppm到约300wt.ppm的Ag、约10wt.ppm到约100wt.ppm的Ni和约10wt.ppm到约530wt.ppm的Pd。

17.根据权利要求1所述的3N铜线，其中所述耐腐蚀性加入材料包含约10wt.ppm到约300wt.ppm的Ag、约10wt.ppm到约100wt.ppm的Ni、约10wt.ppm到约50wt.ppm的Pd、约10wt.ppm到约50wt.ppm的Au、约10wt.ppm到约50wt.ppm的Pt和约10wt.ppm到约50wt.ppm的Cr。

18.根据权利要求1到17中任一权利要求所述的3N铜线，其进一步包含约1wt.ppm到约3wt.ppm的S。