[发明专利]一种晶硅铸锭炉移动幕门装置及其控制方法

权利要求书

1.一种晶硅铸锭炉移动幕门装置，包括炉体(1)和置于炉体内的隔热笼(2)，隔热笼(2)内置热交换台(3)，其特征在于，位于热交换台下方的隔热笼(2)底部开有一开口(21)，炉体(1)的下半部设有一上部可打开或闭合的移动幕门结构，所述的移动幕门结构包括一换热板(6)、安装在换热板上表面上的全封闭的环状侧立板(11)和安装在环状侧立板上的左、右移动板(4、5)，侧立板(11)与换热板(6)形成一换热腔(12)，左、右移动板的顶部贴近隔热笼的底部设置，当左、右移动板打开时，使隔热笼与换热腔贯通；当左、右移动板闭合时，将隔热笼与换热腔隔断。

2.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉移动幕门装置，其特征在于，所述的左、右移动板通过驱动杆(13)各连接一用于控制其在任意位置打开或闭合的驱动机构(14)。

3.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉移动幕门装置，其特征在于，所述的驱动杆与炉体的连接处设有密封装置(10)。

4.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉移动幕门装置，其特征在于，环状侧立板(11)的内径与开口的宽度大小一致。

5.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉移动幕门装置，其特征在于，所述的左、右移动板的交接处形成企口结构。

6.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉移动幕门装置，其特征在于，所述的环状侧立板由具有良好保温隔热效果的材料制作而成。

7.权利要求1-6任一项所述晶硅铸锭炉移动幕门装置的控制方法，其特征在于，所述的驱动机构与晶硅铸锭炉的控制系统集成，控制系统根据输入的参数，对左、右移动板的

位置、移动速度、打开间距作伺服控制；

当需要最大的换热量以获取最高的冷却速率时，控制系统控制左、右移动板迅速打开至最大间距，以获得最大的辐射换热面积；当需要小的换热量时，控制系统控制左、右移动板向内移动至合适的小间距；

当左、右移动板打开时，为了保证左、右移动板打开间距对应的热交换台位置不至于造成局部偏冷现象，控制系统控制左、右移动板保持固有的打开间距，使使左移动板跟随右移动板同步进行左右运动，以使热交换台底部得到均匀的散热；同时，控制系统也可控制左、右移动板在同步运动中，左、右移动板之间的打开间距逐步放大，以匹配晶体生长不同阶段换热能力的需要。