[发明专利]一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器

权利要求书

1.一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器，其特征在于，该静电驱动可变光衰减器包括挡板（1）、活动梳齿（2）、两侧沿纵向弯折的弹簧（3）、两个第一锚区（4）、固定梳齿电极（5）、两个活动梳齿电极（6）、光纤槽固定框（7）、固定梳齿（8）、两个应变电阻（9）、两个应变电极（10）、衬底（11）和第二锚区（12）； 

光纤槽固定框（7）、第一锚区（4）、第二锚区（12）和应变电阻（9）分别固定连接在衬底（11）上，且应变电阻（9）和第一锚区（4）之间设有绝缘层；光纤槽固定框（7）围成光纤槽（13），挡板（1）嵌在光纤槽（13）中，挡板（1）的一端固定连接在活动梳齿（2）的一侧；每个第一锚区（4）的顶面设有一个活动梳齿电极（6），每个应变电阻（9）的顶面设有一个应变电极（10）；弹簧（3）的两侧分别与一个应变电阻（9）连接，且弹簧（3）的中部与活动梳齿（2）固定连接；第二锚区（12）的一侧设有固定梳齿（8），固定梳齿（8）和活动梳齿（2）交替布置，第二锚区（12）的顶面设有一个固定梳齿电极（5）。 

2.按照权利要求1所述的可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器，其特征在于，还包括反馈驱动电路，该反馈驱动电路包括电流源（C1）、电位器（W）、第一电阻（R1）、第二电阻（R2）、输出电阻（Rc）、应变电阻（9）、放大器（A）和三极管（Q），电流源（C1）和应变电阻（9）构成电桥的一个边，电位器（W）和第一电阻（R1）构成电桥的另一边，该电桥两边的输出端接放大器（A），放大器（A）输出控制三极管（Q）导通状态，三极管（Q）的基极与放大器（A）输出端之间连接第二电阻（R2），三极管（Q）的发射极接地，三极管（Q）的集电极和电源之间接输出电阻（Rc），输出电阻（Rc）的两端接活动梳齿电极（6）和固定梳齿电极（5）。 

3.按照权利要求1所述的可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器，其特征在于，所述的挡板（1）、活动梳齿（2）、弹簧（3）、第一锚区（4）、光纤槽固定框（7）和第二锚区（12）为同一种导电材料制成。 

4.按照权利要求1所述的可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器，其特征在于，所述的固定梳齿电极（5）、活动梳齿电极（6）和应变电极（10）为同一种金属材料制成。 

5.按照权利要求1所述的可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器，其特征在于，所述的衬底（11）上设有凹槽，凹槽位于光纤槽（13）、挡板（1）、活动梳齿（2）和弹簧（3）的下方。