[发明专利]光学旋转装置以及干涉相位差显微镜

说明书

技术领域

本发明主要关于一种旋转装置，尤指一种光学旋转装置以及干涉相位差显微镜。

背景技术

目前可利用干涉相位差显微镜取得一物体表面的立体影像，以针对半导体上的缺陷提供测量与分析。一般已知的干涉相位差显微镜是利用偏振片旋转，并将偏振片于预定的多个旋转角度静止后，经由影像传感器撷取一物体于不同偏置(bias)上的影像。之后经由适合的影像处理法以及积分计算后，将前述的多个影像形成前述物体表面的立体影像。

前述偏振片的旋转于已知技术上是经由步进马达来控制。通过间歇性地驱动步进马达来使偏振片旋转，并停止至预定的旋转角度。然而，要将偏振片精确的停止于特定的旋转角度上，需要经过复杂的控制，增加了制作上的困难度。此外，由于需控制步进马达间歇性的旋转，因此无法进一步提高步进马达的旋转速度，使得对于物体的影像撷取的速度较慢，增加了整体干涉相位差显微镜的检测时间。

发明内容

本发明的目的为提供一种光学旋转装置以及干涉相位差显微镜，可增加偏振片或是检偏镜等光学组件的旋转速度，并可精确的停在预定的旋转角度，以减少整体干涉相位差显微镜的检测时间。

为了达到上述的目的，本发明提供了一种光学旋转装置，该光学旋转装置包括一旋转组件以及一驱动机构。旋转组件具有一中心孔、多个驱动槽以及一周缘侧壁，其中中心孔位于旋转组件的中央，驱动槽等间距环状排列于周缘侧壁。驱动机构包括一旋转座、一驱动组件、一马达以及一驱动凸块。马达持续地驱动驱动组件旋转，且驱动凸块设置于旋转座上。其中光学组件设置于中心孔，当驱动凸块位于驱动槽内时，驱动凸块推动旋转组件，进而使光学组件间歇性地旋转。

为了达到上述的目的，本发明提供了一种干涉相位差显微镜，包括前述的光学旋转装置、一光源、一光学组件、一物体、一影像传感器、以及一干涉相位差棱镜。光源产生一光束，且所述的光束沿一行进路线行进。光学组件设置于光学旋转装置的中心孔，且位于行进路线上。物体以及一影像传感器位于行进路线上。干涉相位差棱镜，位于物体以及影像传感器之间。每当光学组件静止时，影像传感器感测照射于影像传感器上的光束，并形成一影像信号。

综上所述，本发明的光学旋转装置可于马达持续地驱动驱动组件旋转的情况下间歇性地旋转光学组件。由于马达不需间歇性地转动，因此可大幅简化对于马达的精确控制，亦可提高马达运转速度，减少了整体干涉相位差显微镜的检测时间。另外，通过旋转组件以及驱动机构的配合，光学组件亦可精确的停止于预定的旋转角度上。

附图说明

图1为本发明的第一实施例的干涉相位差显微镜的示意图；

图2为本发明的光学旋转装置的立体图，其中一光学组件设置于光学旋转装置上；

图3为本发明的光学旋转装置分解图，其中光学组件设置于光学旋转装置上；

图4至图7为本发明的光学旋转装置俯视图，其中一光学组件设置于旋转组件，驱动凸块持续转动，并带动旋转组件间歇性地转动；

图8为本发明的第二实施例的干涉相位差显微镜的示意图；

图9为本发明的第三实施例的干涉相位差显微镜的示意图；

图10为本发明的第四实施例的干涉相位差显微镜的示意图；

图11为本发明的第五实施例的干涉相位差显微镜的示意图；

图12为本发明的第六实施例的干涉相位差显微镜的示意图；

图13为本发明的第七实施例的干涉相位差显微镜的示意图；以及

图14为本发明的第八实施例的干涉相位差显微镜的示意图。

【主要组件符号说明】

干涉相位差显微镜1、1a、1b、1c、1d、1e、1f、1g；光源10；

投光镜组20；

滤镜21；

聚光镜22；

偏振片（光学组件）23；

波片24；

取像镜组30；

分光镜31；

干涉相位差棱镜32；

物镜33；

检偏镜（光学组件）34；

成像镜35；

波片36；

反射镜37；

干涉相位差棱镜38；

聚焦透镜39；

物体40；

影像传感器50；

光学旋转装置60；

基座61；

环形孔611；

孔壁612表面613；

周壁614；

锁孔615；

旋转组件62；