[发明专利]三维界面应力传感器有效
| 申请号： | 201210501846.4 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102980691A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 吕晓洲 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华;朱红星 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三维 界面 应力 传感器 | ||
1.一种三维界面应力传感器，包括顶层（1）、驱动电极（2）、中间层（3）、感应电极（4）和底层（5），其特征在于：
所述的驱动电极（2），耦合于顶层（1）的下表面；
所述的中间层（3），由四个分隔柱（31、32、33，34）组成，这四个分隔柱固定在顶层（1）与底层（5）之间；
所述的感应电极（4），由Z向感应电极（41）、X向感应电极（42）和Y向感应电极（43）组成，Z向感应电极（41）耦合于底层（5）上表面的中心位置；X向感应电极（42）和Y向感应电极（43）分别耦合于底层（5）上表面的两条相邻的边上，且相互垂直。
2.根据权利要求1所述的三维界面应力传感器，其特征在于顶层（1）和底层（5）为PCB板，形状为正方形。
3.根据权利要求1所述的三维界面应力传感器，其特征在于驱动电极（2）的大小能够完全覆盖Z向感应电极（41），部分覆盖Y向感应电极（42）和Y向感应电极（43）。
4.根据权利要求1所述的一种三维界面应力传感器，其特征在于四个分隔柱（31、32、33，34）的形状为正方体，材料为超弹塑性材料。
5.根据权利要求1或3所述的三维界面应力传感器，其特征在于四个分隔柱（31、32、33，34）与顶层（1）下表面和底层（5）上表面的四个角对齐放置。
6.根据权利要求1所述的三维界面应力传感器，其特征在于Z向感应电极（41）的形状为正方形，X向感应电极（42）和Y向感应电极（43）的形状为长方形。
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