[发明专利]光刻照明用光瞳整形装置

权利要求书

1.一种光刻照明用光瞳整形装置，其特征在于包括转盘机构（2）、连续变焦透镜组（3）和控制器（5），所述的转盘机构（2）沿圆周均匀地设有多个衍射光学元件，沿光刻机照明系统中产生的方形的入射光束（1）方向依次是所述的转盘机构（2）的衍射光学元件和连续变焦透镜组（3），所述的衍射光学元件位于所述的连续变焦透镜组（3）的前焦面并垂直于装置的光轴，所述的控制器（5）通过编码器精确控制所述的转盘机构（2）的旋转和所述的衍射光学元件的移动，通过所述的转盘机构（2）的旋转选择所需要的衍射光学元件以实现所需的照明方式，通过所述的衍射光学元件的移动，实现光瞳面（4）上的照明环带内径的调整；光刻机照明系统中产生的方形的入射光束（1）照射在所选定的衍射光学元件上，调节所述的连续变焦透镜组（3），改变透镜焦距实现照明光瞳面（4）上环带宽度的调节，在所述的连续变焦透镜组（3）的像方焦面即光瞳面（4）上形成所需的照明光瞳分布。

2.根据权利要求1所述的光刻照明用光瞳整形装置，其特征在于所述的转盘机构（2）沿圆周均匀地设有五个衍射光学元件，分别依次为环形照明衍射光学元件（201）、X方向二极照明衍射光学元件（202）、Y方向二极照明衍射光学元件（203）、四极照明衍射光学元件（204）和传统照明衍射光学元件（205），相应的在所述的光瞳面（4）上形成环形照明、X方向二极照明、Y方向二极照明、四极照明和传统照明。

3.根据权利要求1所述的光刻照明用光瞳整形装置，其特征在于所述的衍射光学元件由一系列一维分区式的子区域构成，该子区域的排列方向和所述的衍射光学元件的移动方向相同，每个子区域分别对应于产生不同直径而环带宽度相同的照明环带，所述的衍射光学元件的子区域和所述的光瞳面上的环带相对应，即D子区域用于产生D环带，每个子区域和相邻子区域产生的照明环带是正好相接的，工作时，通过照射几个连续的子区域，得到一个总的照明环带，该总的照明环带的宽度等于被照射子区域的个数乘以一个照明环带的宽度。