[发明专利]版图中插入填充图形的方法

权利要求书

1.一种版图中插入填充图形的方法，其特征是，包括以下步骤：

第1步，读取版图数据，找到每个局部区域中允许插入填充图形的结构；

第2步，在每个局部区域的允许插入填充图形的结构中，虚拟地插入标准填充图形；

第3步，计算该局部区域在虚拟地插入填充图形之后的图形密度，判断其是否大于或等于该局部区域的图形密度的最低要求；

如果是，在该局部区域的允许插入填充图形的结构中实际插入该填充图形；

如果否，进入第4步；

第4步，在该局部区域的允许插入填充图形的结构中，虚拟地插入比上一次虚拟插入的填充图形更大的新的填充图形；重复第3步～第4步，直至该局部区域在插入新的填充图形之后的图形密度大于或等于该局部区域的图形密度的最低要求。

2.根据权利要求1所述的版图中插入填充图形的方法，其特征是，所述方法第4步中，如果采用了该种生产工艺所允许的最大的填充图形，虚拟插入后的图形密度仍然小于该局部区域的图形密度的最低要求，则上报错误。

3.根据权利要求1所述的版图中插入填充图形的方法，其特征是，为每一种生产工艺制定一个填充图形的大小与图形密度之间的对应关系的表格；所述表格中记载了从标准填充图形开始各边长递增直至该生产工艺允许的最大填充图形所对应的图形密度；

在所述方法第3步中，如果该局部区域在虚拟地插入填充图形之后的图形密度小于该局部区域的图形密度的最低要求，则计算为了满足该局部区域的图形密度的最低要求在该局部区域插入新的填充图形的最低图形密度；

在所述方法第4步中，在该种生产工艺的表格中找到图形密度大于所述在该局部区域插入新的填充图形的最低图形密度的最小尺寸的填充图形，进行虚拟插入而重复第3步～第4步。

4.根据权利要求3所述的版图中插入填充图形的方法，其特征是，如果所述在该局部区域插入新的填充图形的最低图形密度大于该种生产工艺的表格中的全部图形密度，则上报错误；

如果在使用了该种生产工艺的表格中的最大填充图形，计算出的该局部区域在虚拟地插入所述最大填充图形之后的图形密度仍然小于该局部区域的图形密度的最低要求，则上报错误。