[发明专利]双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置

说明书

技术领域

本发明涉及使滑块沿着一对驱动轴移动的双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置。

背景技术

例如，在专利文献1中公开了一种具备使滑块（X轴框架）沿着一对驱动轴（YR轴框架、YL轴框架）移动的双电动机驱动装置的元件安装装置。专利文献1记载的元件安装装置的双电动机驱动装置具备对滑块（X轴框架）与一对驱动轴的垂直度进行限定的一对原点传感器，基于一对原点传感器产生的检测信号，使滑块移动到确保了与一对驱动轴的垂直度的初始位置。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2006-313839号公报（参照段落0017、图1、4）

【发明的概要】

【发明要解决的课题】

在专利文献1记载的双电动机驱动装置中，将滑块作为刚体来处理，但实际上滑块不是完全的刚体，因此在滑块的移动时，滑块会产生应变。因此，在通过原点传感器检测到的原点含有由上述应变引起的误差的状态下进行滑块的定位时，会对一方的驱动轴施加不必要的转矩。由此，有时会导致之后的元件安装中的安装精度的恶化或生产能力的下降。

发明内容

本发明鉴于上述现有的问题点而作出，目的在于提供一种能够校正在滑块产生的应变而确保滑块相对于一对驱动轴的高精度的垂直度的双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置。

【用于解决课题的方法】

为了解决上述的课题，本发明的第一方面提供一种双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法，所述双电动机驱动装置具备：一对第一及第二驱动轴，平行地并列配置；滑块，两端部被支承为能够分别沿着所述第一及第二驱动轴移动；第一及第二位置检测部，分别检测所述滑块的两端部的位置；第一及第二驱动部，根据所述第一及第二位置检测部产生的位置检测值，所述第一驱动部对所述滑块的一端侧沿着所述第一驱动轴进行驱动控制，所述第二驱动部与所述第一驱动轴同步地对所述滑块的另一端侧进行控制而使所述滑块的另一端侧沿着所述第二驱动轴移动，所述双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法包括：驱动工序，驱动所述第一及第二驱动部的至少一方以在所述第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差，使所述滑块产生应变；校正量运算工序，基于使所述滑块产生应变之后的该滑块的所述另一端侧的端部相对于所述一端侧的端部的应变量，求出所述滑块的应变校正量；应变校正工序，驱动所述第一及第二驱动部以在所述第一及第二驱动轴之间产生与所述推力差相同的推力差，使所述滑块的各端部分别回复到原点，对所述滑块的所述一端侧的端部进行定位之后，以所述应变校正量校正所述另一端侧的端部的位置。

本发明的第二方面以第一方面为基础，其中，所述驱动工序驱动所述第一驱动部且不驱动所述第二驱动部，而使所述滑块沿着所述第一及第二驱动轴移动，从而使所述滑块产生应变，所述校正量运算工序包括：第一位置取得工序，取得所述滑块的所述一端侧的端部的位置到达了任意的位置时的所述滑块的所述另一端侧的端部的位置；第二位置取得工序，驱动所述第一及第二驱动部，将所述滑块的所述一端侧的端部定位固定在所述任意的位置并将所述滑块的所述另一端侧的端部定位在所述取得的位置，使所述滑块的所述另一端侧的端部移动至所述滑块与所述第一及第二驱动轴垂直为止，而取得该端部的位置，所述校正量运算工序求出通过所述第一位置取得工序取得的位置与通过所述第二位置取得工序取得的位置之差作为所述滑块的应变校正量。

本发明的第三方面以第一方面为基础，其中，所述驱动工序驱动所述第一驱动部而使所述滑块的所述一端侧的端部沿着所述第一驱动轴移动，且不驱动所述第二驱动部而使所述滑块的所述另一端侧的端部保持在当前位置，从而使所述滑块产生应变，所述校正量运算工序包括：第一位置取得工序，取得所述滑块的移动停止时的所述滑块的所述另一端侧的端部的位置；第二位置取得工序，将所述滑块的所述一端侧的端部固定，使所述滑块的所述另一端侧的端部移动至所述滑块与所述第一及第二驱动轴垂直为止，而取得该端部的位置，所述校正量运算工序求出通过所述第一位置取得工序取得的位置与通过所述第二位置取得工序取得的位置之差作为所述滑块的应变校正量。