[发明专利]三氯硅烷制造装置

权利要求书

1.一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，具有设置为大致筒状且形成沿所述反应容器的轴线方向延伸的流道的被加热壁；及加热器，加热所述被加热壁，所述三氯硅烷制造装置通过在所述反应容器内加热包含四氯化硅和氢的供给气体来生成包含三氯硅烷和氯化氢的反应生成气体，该三氯硅烷制造装置的特征在于，

在所述流道的最上游部设置有折返流道部，所述折返流道部具备：气体流入部，从所述反应容器的外部导入所述供给气体并使该供给气体沿所述轴线方向流通；及反转部，连接于该气体流入部的下游侧，使所述供给气体的流通方向朝相反方向反转1次以上来使所述供给气体流通，

所述折返流道部中，在所述气体流入部与所述被加热壁之间配置有所述反转部，并且所述折返流道部中的所述轴线方向长度短于所述流道中沿所述轴线方向的最大轴线方向长度。

2.如权利要求1所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，

所述折返流道部的所述轴线方向长度为所述流道的沿所述轴线方向的所述最大轴线方向长度的10%以上50%以下。