[发明专利]微型压电振动能量收集器及其制造方法

权利要求书

1.一种微型压电振动能量收集器的制造方法，包括：

在衬底正面上形成第一保护层以及第一金属层；

在第一金属层上形成具有窗口的光刻胶层；

在第一金属层以及光刻胶层上形成导电胶层；

在与窗口对应的位置处的导电胶层上粘贴压电陶瓷片；

去除光刻胶层以及未被压电陶瓷片覆盖的导电胶层；

在压电陶瓷片以及第一金属层上形成第二金属层；

在衬底背面形成与窗口位置对应的开口，直至暴露第一保护层，使得第二金属层、压电陶瓷片、导电胶层、第一金属层以及第一保护层构成悬梁臂，跨越开口两侧的衬底构成的质量块。

2.如权利要求1所述的微型压电振动能量收集器的制造方法，其中，粘贴压电陶瓷片之后进一步包括加热固化导电胶层以完成键合。

3.如权利要求1所述的微型压电振动能量收集器的制造方法，其中，形成第一保护层的同时也在衬底背面形成第二保护层，图案化第二保护层形成暴露衬底的背面窗口，用于在衬底背面形成直至暴露第一保护层的开口。

4.如权利要求1所述的微型压电振动能量收集器的制造方法，其中，粘贴压电陶瓷片之后进一步包括通过CMP以及湿法腐蚀，将压电陶瓷片减薄至需要厚度。

5.如权利要求1所述的微型压电振动能量收集器的制造方法，其中，形成开口之后进一步包括：划片以释放质量块；在第二金属层上形成接触焊垫。

6.如权利要求1所述的微型压电振动能量收集器的制造方法，其中，导电胶层为掺杂了金属的环氧树脂，压电陶瓷片包括PZT薄膜。