[发明专利]降低硅锭中部缺陷的方法和应用该方法的铸锭炉有效

专利信息
申请号: 201210492857.0 申请日: 2012-11-27
公开(公告)号: CN102925960A 公开(公告)日: 2013-02-13
发明(设计)人: 潘家明;何广川 申请(专利权)人: 英利能源(中国)有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 魏晓波
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 降低 中部 缺陷 方法 应用 铸锭
【权利要求书】:

1.一种铸锭炉,包括容纳硅料的石英坩埚,以及支撑所述石英坩埚的散热台,其特征在于,还包括设于所述石英坩埚和所述散热台之间的导热增高块。

2.根据权利要求1所述的铸锭炉,其特征在于,所述导热增高块具体为石墨增高块。

3.根据权利要求1或2所述的铸锭炉,其特征在于,所述散热台具有台阶式结构,其上层尺寸小于下层尺寸,所述导热增高块的尺寸小于所述上层尺寸。

4.根据权利要求1或2所述的铸锭炉,其特征在于,所述导热增高块的厚度范围为3mm-40mm;其外周与所述散热台的外周之间的距离范围为5mm-150mm。

5.一种降低硅锭中部缺陷的方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)在石英坩埚与散热台之间设置导热增高块;

2)熔融硅料后,将温度降至1400℃-1450℃,历时20-60min;

3)继续降低温度至1380℃,历时20min-100min;

4)降低温度至1360℃,历时1200min-2600min。

6.根据权利要求5所述的降低硅锭中部缺陷的方法,其特征在于,所述步骤2)中,分两步或多步降温。

7.根据权利要求5所述的降低硅锭中部缺陷的方法,其特征在于,所述步骤3)中,将百叶窗打开10°-30°角。

8.根据权利要求5所述的降低硅锭中部缺陷的方法,其特征在于,所述步骤4)中,将百叶窗缓慢打开,保证硅料结晶速率控制在5mm/h-30mm/h中的一数值稳定生长。

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