[发明专利]降低硅锭中部缺陷的方法和应用该方法的铸锭炉有效
申请号: | 201210492857.0 | 申请日: | 2012-11-27 |
公开(公告)号: | CN102925960A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 潘家明;何广川 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 降低 中部 缺陷 方法 应用 铸锭 | ||
1.一种铸锭炉,包括容纳硅料的石英坩埚,以及支撑所述石英坩埚的散热台,其特征在于,还包括设于所述石英坩埚和所述散热台之间的导热增高块。
2.根据权利要求1所述的铸锭炉,其特征在于,所述导热增高块具体为石墨增高块。
3.根据权利要求1或2所述的铸锭炉,其特征在于,所述散热台具有台阶式结构,其上层尺寸小于下层尺寸,所述导热增高块的尺寸小于所述上层尺寸。
4.根据权利要求1或2所述的铸锭炉,其特征在于,所述导热增高块的厚度范围为3mm-40mm;其外周与所述散热台的外周之间的距离范围为5mm-150mm。
5.一种降低硅锭中部缺陷的方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)在石英坩埚与散热台之间设置导热增高块;
2)熔融硅料后,将温度降至1400℃-1450℃,历时20-60min;
3)继续降低温度至1380℃,历时20min-100min;
4)降低温度至1360℃,历时1200min-2600min。
6.根据权利要求5所述的降低硅锭中部缺陷的方法,其特征在于,所述步骤2)中,分两步或多步降温。
7.根据权利要求5所述的降低硅锭中部缺陷的方法,其特征在于,所述步骤3)中,将百叶窗打开10°-30°角。
8.根据权利要求5所述的降低硅锭中部缺陷的方法,其特征在于,所述步骤4)中,将百叶窗缓慢打开,保证硅料结晶速率控制在5mm/h-30mm/h中的一数值稳定生长。
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