[发明专利]一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法

权利要求书

1.一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法，其特征在于：所述方法步骤如下：

（1）启动第一抽气系统（1）和第二抽气系统（10），启动第一真空或压力标准装置（3）和第二真空或压力标准装置（8），打开第一真空阀门（2）、第四真空阀门（7）和第五真空阀门（9），启动零点指示器（6）至工作状态，对第一真空或压力标准装置（3）、零点指示器（6）和第二真空或压力标准装置（8）及其连接管道抽气；

（2）当第一真空或压力标准装置（3）和第二真空或压力标准装置（8）抽至本底压力时，对第一真空或压力标准装置（3）和第二真空或压力标准装置（8）分别调零，并记录零点指示器（6）的零点示值p₀；

（3）通过第二真空或压力标准装置（8）的进气系统将其调节到目标压力点p_t，同时通过第一真空或压力标准装置（3）的进气系统将其调节到与第二真空或压力标准装置（8）相同的压力点；

（4）关闭第三真空阀门（5），打开第二真空阀门（4）；

（5）微调第一真空或压力标准装置（3）的进气系统，使得零点指示器（6）的示值和步骤（2）中零点示值p₀有最小的偏离；

（6）记录第一真空或压力标准装置（3）的示值p₃、零点指示器（6）的示值p₆和第二真空或压力标准装置（8）的示值p₈；

（7）重复步骤（3）～（6），共测量n组数据，其中n≥6；

（8）关闭第二真空阀门（4），打开第三真空阀门（5）；

（9）关闭第一真空或压力标准装置（3）的进气系统和第二真空或压力标准装置（8）的进气系统，将第一真空或压力标准装置（3）与第二真空或压力标准装置（8）抽至本底压力；

（10）当第一真空或压力标准装置（3）和第二真空或压力标准装置（8）抽至本底压力时，对第一真空或压力标准装置（3）和第二真空或压力标准装置（8）分别调零，并记录零点指示器（6）的零点示值p₀′；

（11）关闭第一真空阀门（2）、第三真空阀门（5）、第四真空阀门（7）和第五真空阀门（9）；

（12）关闭第一真空或压力标准装置（3）、第二真空或压力标准装置（8）和零点指示器（6）；

（13）数据处理及判定：如果0包含在范围内，说明两个真空或压力标准装置具有很好的一致性；反之，说明两个真空或压力标准装置不具有很好的一致性；其中p_t为目标压力点，d为第一真空或压力标准装置（3）在所述目标压力点p_t的平均偏差，u(d)为测量不确定度。

2.根据权利要求1所述的一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法，其特征在于：所述步骤（13）中的数据处理方法如下：

①根据每组测量数据和公式（1）计算得到第一真空或压力标准装置（3）的压力值(p₃)_predicted：

(p₃)_predicted＝p₈-(p₆-(p₀+p₀′)/2)·CF    （1）

式中：p₈为第二真空或压力标准装置（8）的压力示值；

p₆为零点指示器（6）的示值；

(p₀+p₀′)/2为零点指示器（6）的零点；

CF为零点指示器（6）的校准系数；

②计算每组数据中第一真空或压力标准装置（3）的示值p₃与计算值(p₃)_predicted的偏差：

d_i＝p₃-(p₃)_predicted(i＝1,2,...n)        （2）

③计算第一真空或压力标准装置（3）在所述目标压力点p_t的平均偏差及测量不确定度u(d)；

④判定：如果0包含在范围内，说明两个真空或压力标准装置具有很好的一致性；反之，说明两个真空或压力标准装置不具有很好的一致性。

3.根据权利要求1所述的一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法，其特征在于：所述方法采用的装置包括：第一抽气系统（1）、第一真空阀门（2）、第一真空或压力标准装置（3）、第二真空阀门（4）、第三真空阀门（5）、零点指示器（6）、第四真空阀门（7）、第二真空或压力标准装置（8）、第五真空阀门（9）和第二抽气系统（10）；

其中，第一抽气系统（1）、第一真空阀门（2）、第一真空或压力标准装置（3）、第二真空阀门（4）、零点指示器（6）、第四真空阀门（7）、第二真空或压力标准装置（8）、第五真空阀门（9）、第二抽气系统（10）依次连接，第三真空阀门（5）一端连接到第二真空阀门（4）与零点指示器（6）之间管路中，另一端连接到零点指示器（6）与第四真空阀门（7）之间管路中。