[发明专利]半导体集成电路

权利要求书

1.一种半导体集成电路，包括：经由通孔而彼此耦合的多个半导体芯片，其中，所述多个半导体芯片中的最下层的半导体芯片被配置为产生第一测试脉冲信号，并且经由所述通孔来发送所述第一测试脉冲信号，

所述多个半导体芯片中的最上层的半导体芯片被配置为在与所述第一测试脉冲信号保持时间差的同时产生第二测试脉冲信号，并且经由所述通孔来发送所述第二测试脉冲信号，以及

所述多个半导体芯片被配置为接收所述第一测试脉冲信号和所述第二测试脉冲信号，以及响应于所述第一测试脉冲信号和所述第二测试脉冲信号而产生用于判定所述通孔是否有缺陷的测试结果信号，

其中，所述通孔彼此耦接。

2.如权利要求1所述的半导体集成电路，其中，所述最下层的半导体芯片包括：

发送/接收单元，所述发送/接收单元被配置为向所述通孔发送内部信号，或接收经由所述通孔传送的信号；以及

第一测试单元，所述第一测试单元被配置为在第一定时产生所述第一测试脉冲信号，以及响应于所述第一测试脉冲信号和所述第二测试脉冲信号而产生所述测试结果信号。

3.如权利要求1所述的半导体集成电路，其中，所述最下层的半导体芯片还包括：

测试控制信号发生单元，所述测试控制信号发生单元被配置为产生用于控制所述第一测试脉冲信号和所述测试结果信号的产生时序的第一测试控制信号、第二测试控制信号和第三测试控制信号。

4.如权利要求3所述的半导体集成电路，其中，所述第一测试单元包括：

移位逻辑，所述移位逻辑被配置为在所述第一测试控制信号的激活持续时间接收所述第一测试脉冲信号和所述第二测试脉冲信号作为时钟信号、将电源电压的电平移位、并且激活所述测试结果信号；

脉冲发生器，所述脉冲发生器被配置为响应于所述第二测试控制信号而产生所述第一测试脉冲信号；以及

发送器/接收器，所述发送器/接收器被配置为在所述第二测试控制信号的激活持续时间向所述通孔发送所述第一测试脉冲信号，并且在所述第三测试控制信号的激活持续时间从所述通孔接收所述第二测试脉冲信号。

5.如权利要求4所述的半导体集成电路，其中，所述移位逻辑包括：

第一触发器和第二触发器，所述第一触发器和第二触发器被配置为顺序地将所述电源电压的电平移位。

6.如权利要求3所述的半导体集成电路，其中，所述最上层的半导体芯片包括：

发送/接收单元，所述发送/接收单元被配置为向所述通孔发送内部信号，或接收经由所述通孔传送的信号；以及

第二测试单元，所述第二测试单元被配置为在第二时序产生所述第二测试脉冲信号，以及响应于所述第一测试脉冲信号和所述第二测试脉冲信号而产生所述测试结果信号。

7.如权利要求6所述的半导体集成电路，其中，所述第二测试单元包括：

移位逻辑，所述移位逻辑被配置为在所述第一测试控制信号的激活持续时间接收所述第一测试脉冲信号和所述第二测试脉冲信号作为时钟信号、将电源电压的电平移位、并且激活所述测试结果信号；

脉冲发生器，所述脉冲发生器被配置为响应于所述第三测试控制信号而产生所述第二测试脉冲信号；以及

发送器/接收器，所述发送器/接收器被配置为在所述第二测试控制信号的激活持续时间从所述通孔接收所述第一测试脉冲信号，并且在所述第三测试控制信号的激活持续时间向所述通孔发送所述第二测试脉冲信号。

8.如权利要求7所述的半导体集成电路，其中，所述移位逻辑包括：

第一触发器和第二触发器，所述第一触发器和所述第二触发器被配置用于顺序地将所述电源电压的电平移位。

9.如权利要求3所述的半导体集成电路，其中，除了所述最下层的半导体芯片和所述最上层的半导体芯片以外的其余的半导体芯片中的每个包括：

发送/接收单元，所述发送/接收单元被配置为向所述通孔发送内部信号，或接收经由所述通孔传送的信号；以及

第三测试单元，所述第三测试单元被配置为响应于所述第一测试脉冲信号和所述第二测试脉冲信号而产生所述测试结果信号。