[发明专利]一种双刀盘式超精密飞切铣床

说明书

技术领域

本发明涉及一种铣床，具体涉及一种双刀盘式超精密飞切铣床。

背景技术

惯性核聚变装置需要大量的直径厚度比较大的KDP晶体光学元件，由于KDP晶体功能和材料性质的特殊性，对它的加工只能是采用超精密飞切铣削的工艺方法加工，为了获得超光滑的表面，除了要研究刀具和超精密加工工艺技术以外，其专用的超精密加工设备更是研究的基础。在实际工作中，对KDP晶体功能材料的加工精度和表面质量要求很高，要求其长×宽×高为430mm×430mm×10mm；面形精度小于0.125μm；表面粗糙度小于5nm（RMS），双面表面平行度小于10″。目前，我国的KDP晶体加工超精密机床广泛地使用气体静压的方式，，如专利号ZL 200710144867.4、申请日为2007年12月19日、名称为《龙门式超精密飞切铣床》。但是现有的KDP晶体加工超精密机床刚度和加工效率均较低，无法加工出高精度和高表面质量的KDP晶体光学元件。

发明内容

本发明的目的是提供一种双刀盘式超精密飞切铣床，以解决现有KDP超精密加工机床刚度和加工效率均较低的问题。

本发明为解决上述技术问题采取的技术方案是：

一种双刀盘式超精密飞切铣床，所述铣床包括大理石T型床身、横向直线导轨系统、纵向直线导轨系统、双刀盘主轴系统和多个空气隔振支撑系统；

所述横向直线导轨系统分为横向直线导轨系统左和横向直线导轨系统右，横向直线导轨系统左设置在大理石T型床身上的左边缘，横向直线导轨系统右设置在大理石T型床身上的右边缘，纵向直线导轨系统设置在大理石T型床身的中间部位，且纵向直线导轨系统位于横向直线导轨系统左和横向直线导轨系统右之间，横向直线导轨系统左包括吸盘支撑座左、真空吸盘左、横上溜板左、横导轨左、直线电机左、两个横中间溜板左及两个横下溜板左；横上溜板左的两端通过两个横中间溜板左与两个横下溜板左分别固接并形成凹槽左，横导轨左的上端安装在凹槽左内，横导轨左的下端与大理石T型床身固接，横上溜板左通过直线电机左驱动在横导轨左上滑动，实现相对运动，真空吸盘左与吸盘支撑座左固接，吸盘支撑座左与横上溜板左固接，真空吸盘左与横上溜板左的上表面垂直设置，真空吸盘左与纵向直线导轨系统平行设置，横向直线导轨系统右包括吸盘支撑座右、真空吸盘右、横上溜板右、横导轨右、直线电机右、两个横下溜板右及两个横中间溜板右；横上溜板右的两端通过两个横中间溜板右与两个横下溜板右分别固接并形成凹槽右，横导轨右的上端安装在凹槽右内，横导轨右的下端与大理石T型床身固接，横上溜板右通过直线电机右驱动在横导轨右上滑动，实现相对运动，真空吸盘右与吸盘支撑座右固接，吸盘支撑座右与横上溜板右固接，真空吸盘右与横上溜板右的上表面垂直设置，真空吸盘右与纵向直线导轨系统平行设置，纵向直线导轨系统包括纵导轨、纵上溜板、电机连接座、纵直线电机、两个纵下溜板及两个纵中间溜板，纵上溜板的两端通过两个纵中间溜板与两个纵下溜板分别固接并形成纵导轨凹槽，纵导轨的上端安装在纵导轨凹槽内，纵导轨的下端与大理石T型床身固接，纵上溜板与纵导轨之间通过电机连接座与纵直线电机连接，实现相对运动，双刀盘主轴系统位于纵向直线导轨系统之上且与纵上溜板固接，大理石T型床身的底部固定有多个空气隔振支撑系统。