[发明专利]一种基于金字塔绒度形貌ZnO层的导电背反射电极

权利要求书

1.一种基于金字塔绒度形貌ZnO层的导电背反射电极，其特征在于：由衬底、具有金字塔形貌的ZnO层、金属银层和ZnO界面层组成薄膜叠层结构，所述衬底为硬质衬底玻璃或不锈钢，或柔性衬底PEN、PET或PI；所述具有金字塔形貌ZnO层为本征ZnO或掺杂ZnO材料ZnO：Al、ZnO：Ga、ZnO：B、ZnO：H、ZnO：Mo、ZnO：W中的一种，金字塔绒度形貌ZnO层的均方根粗糙度为50-300nm、厚度为0.5-4μm；银薄膜层的厚度为70-500nm；ZnO界面层的薄膜厚度为70-500nm。

2.一种如权利要求1所述基于金字塔绒度形貌ZnO层的导电背反射电极的制备方法，其特征在于步骤如下：

1）在清洁的衬底上采用金属有机物化学气相沉积或超声喷雾技术生长具有金字塔绒度形貌ZnO薄膜；

2）在上述制备的具有金字塔绒度形貌ZnO薄膜层上，采用蒸发、溅射、分子束外延或脉冲激光沉积方法再沉积一层银薄膜层；

3）在上述银薄膜层上，采用蒸发、溅射、分子束外延、金属有机物化学气相沉积、超声喷雾技术生长或脉冲激光沉积方法再沉积一层ZnO薄膜作为界面层。

3.一种如权利要求1所述基于金字塔绒度形貌ZnO层的导电背反射电极的应用，其特征在于：作为背反射电极用于薄膜太阳电池，所述的薄膜太阳电池为非晶硅基、微晶硅基、纳米硅基薄膜太阳电池或多结叠层硅基薄膜太阳电池。