[发明专利]工艺腔部品的清洗方法无效
| 申请号： | 201210483235.1 | 申请日： | 2012-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN103831263A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 刘同玉;严超逸;刘东升 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工艺 腔部品 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
1.工艺腔部品的清洗方法，其特征在于，步骤包括：
1）将液态CO2制作成所需规格的干冰颗粒；
2）将干冰颗粒用机械方式送入压缩空气管道，与压缩空气混合、加速，然后和压缩空气一起喷射到被清洗部品表面。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述压缩空气的压力为5bar以上，流量为2m3/min以上。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2），喷射速度为1.7～3.0马赫。
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