[发明专利]一种高绒度反射的导电白色背反射电极及其制备方法

权利要求书

1.一种高绒度反射的导电白色背反射电极，其特征在于：由衬底、腐蚀出弹坑状的ZnO层、金属银层和ZnO界面层组成薄膜叠层结构，所述衬底为硬质衬底玻璃或不锈钢，或柔性衬底PEN、PET或PI；所述腐蚀出弹坑状的ZnO层为本征ZnO或掺杂ZnO材料ZnO：Al、ZnO：Ga、ZnO：B、ZnO：H、ZnO：Mo、ZnO：W中的一种，腐蚀出弹坑状的ZnO层的均方根粗糙度为50-300nm、厚度为0.5-4μm；银薄膜层的厚度为70-500nm；ZnO界面层的薄膜厚度为70-500nm。

2.一种如权利要求1所述高绒度反射的导电白色背反射电极的制备方法，其特征在于步骤如下：

1）在清洁的衬底上采用磁控溅射方法制备ZnO薄膜；

2）在上述ZnO薄膜上利用湿法腐蚀制绒工艺获得具有陷光作用的弹坑状陷光绒面层ZnO薄膜，湿法腐蚀制绒工艺处理采用质量浓度为0.1%-5%的稀盐酸进行腐蚀处理，腐蚀时间为20-150s；

3）在上述制备的具有弹坑状表面形貌的ZnO薄膜层上，采用蒸发、溅射、分子束外延或脉冲激光沉积方法再沉积一层银薄膜层；

4）在上述银薄膜层上，采用蒸发、溅射、分子束外延或脉冲激光沉积方法再沉积一层ZnO薄膜作为界面层。

3.一种如权利要求1所述高绒度反射的导电白色背反射电极的应用，其特征在于：作为背反射电极用于薄膜太阳电池，所述的薄膜太阳电池为非晶硅基、微晶硅基、纳米硅基薄膜太阳电池或多结叠层硅基薄膜太阳电池。