[发明专利]物品输送设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种物品输送设备，所述物品输送设备在顶棚侧设有形成物品输送车的行进路径的行进导引部件，通过上述行进导引部件以沿路径横宽方向排列的状态形成上述物品输送车朝向相同的方向行进的多个上述行进路径，并且形成有将多个上述行进路径的相邻的一对行进路径中的一个即第1行进路径与另一个即第2行进路径连接的第1分支路径及第2分支路径。

背景技术

上述那样的物品输送设备例如设在清洁室内的顶棚部，为了将收存硅基板等基板的收存容器作为物品输送而使用。

即，例如，多个行进路径的一个以经由对基板进行多种处理的多个基板处理装置的运入运出部的状态配设，物品输送车将物品相对于多个基板处理装置输送。并且，即使在一个行进路径上行进的物品输送车停止在与基板处理装置的运入运出部对应的部位，后续的物品输送车也能够通过在别的行进路径上行进而超过停止的物品输送车。然后，该后续的物品输送车通过从该别的行进路径分支而行进到经由多个基板处理装置的运入运出部的一个行进路径上，能够进行物品的输送。

顺便说一下，物品输送车具备升降自如的物品把持部，当对基板处理装置的运入运出部移载物品时，在停止在与基板处理装置的运入运出部对应的部位的状态下，使物品把持部升降。

在特开2006－282303号公报（专利文献1）中，公开了这样的物品输送设备的一例，在该物品输送设备中，第1分支路径和第2分支路径在俯视下在相邻的一对行进路径的长度方向上设在不同的部位。

顺便说一下，在该专利文献1中，例示了相邻的一对行进路径中的一个行进路径以经由两个基板处理装置的运入运出部的状态设置。这里，如果设该一个行进路径为第1行进路径，则在专利文献1中，例示了将使物品输送车从该第1行进路径向另一个第2行进路径分支行进的第1分支路径设在相当于相邻的基板处理装置之间的部位，将使物品输送车从第2行进路径向第1行进路径分支行进的第2分支路径设在相当于比两个基板处理装置中的输送上游侧的基板处理装置靠输送上游侧的部位。

在专利文献1的物品输送设备中，由于第1分支路径和第2分支路径在俯视下在相邻的一对行进路径的长度方向上设在不同的部位，所以有一边决定设置第1分支路径和第2分支路径的部位一边规划设备的设备规划作业成为复杂的作业的缺点、及难以提高物品的输送效率的缺点，希望进行改善。

即，第1分支路径和第2分支路径的设置部位需要一边设想从物品的输送源到物品的输送目的地的各种行进预定路线一边向能够确保能够尽可能效率良好地进行物品的输送的行进预定路线的部位决定。此时，一边设想各种行进预定路线一边决定第1分支路径和第2分支路径的设置部位的作业，成为一边关于一对行进路径的各处将假定为设置第1分支路径的情况与假定为设置第2分支路径的情况比较研究一边进行，所以成为花费工夫的麻烦的作业，有设备规划作业成为复杂的作业的缺点。

此外，在一对行进路径的特定区间中，存在从第1行进路径向第2行进路径的分支行进和从第2行进路径向第1行进路径的分支行进的哪种都能够进行时输送距离更短、能够将物品的输送更效率良好地进行的情况。即使是这样的情况，如果特定区间较短，则也仅能够设置第1分支路径和第2分支路径中的一个，所以难以提高物品的输送效率。

顺便说一下，在上述特定区间是将第1分支路径和第2分支路径排列设置之程度的长度的情况下，能够在一个特定区间中设置第1分支路径和第2分支路径。但是，在分支部位及合流部位，因安全性的确保等的理由，需要使物品输送车的行进速度降低，所以如果第1分支路径和第2分支路径的设置部位增加，则使物品输送车以低速行进的区间增加。结果，在能够在一个特定区间中设置第1分支路径和第2分支路径的情况下，也难以提高物品的输送效率。

发明内容

鉴于上述背景，期望一种能够实现规划设备的设备规划作业的简单化、并且能够提高物品的输送效率的物品输送设备的实现。