[发明专利]一种极远紫外光源校准装置

权利要求书

1.一种极远紫外光源校准装置，其特征在于包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元和探测器单元；

所述光源包括标准极远紫外光源(1)和待测极远紫外光源(2)；

所述汇聚摆镜单元包括一汇聚摆镜(4)，其位于汇聚摆镜真空仓(3)内，所述汇聚摆镜(4)包括摆镜和旋转位移平台，所述摆镜包括两块非反射面贴合的凹面反射镜，其反射镜中心轴线重合，所述凹面反射镜曲面半径范围为50mm～5000mm，其中一块反射镜的反射面A镀30nm～200nm反射膜，另一块反射镜的反射面B镀60nm～200nm反射膜；

所述光源发射出的光线射入所述汇聚摆镜真空仓(3)，经所述汇聚摆镜(4)反射后射入所述紫外单色仪单元，经所述紫外单色仪单元色散分光后被所述探测器单元接收。

2.根据权利要求1所述的一种极远紫外光源校准装置，其特征在于所述紫外单色仪单元包括一紫外光栅(7)，其位于紫外单色仪真空仓(6)内，所述紫外单色仪真空仓(6)上有一紫外单色仪入射狭缝(5)和紫外单色仪出射狭缝(8)。

3.根据权利要求1所述的一种极远紫外光源校准装置，其特征在于所述探测器单元包括一标准探测器(9)，其位于探测器校准真空仓(13)内。

4.根据权利要求1所述的一种极远紫外光源校准装置，其特征在于所述光源和汇聚摆镜真空仓(3)之间有一压力差分单元(14)。

5.根据权利要求1所述的一种极远紫外光源校准装置，其特征在于所述汇聚摆镜真空仓(3)、紫外单色仪真空仓(6)和探测器校准真空仓(13)、紫外单色仪单元、标准极远紫外光源(1)和标准探测器(9)的法兰接口尺寸形状一致。

6.根据权利要求1所述的汇聚摆镜，其特征在于所述摆镜的口径范围为10mm～500mm，半径范围为50mm～5000mm。

7.根据权利要求1所述的汇聚摆镜，其特征在于所述摆镜的两个反射镜反射面中心间距范围为1mm～200mm。

8.根据权利要求1所述的汇聚摆镜，其特征在于所述摆镜的两个反射面的反射膜为高反膜。

9.根据权利要求1所述的汇聚摆镜，其特征在于所述摆镜通过旋转位移平台进行平移和旋转运动。

10.根据权利要求4所述的汇聚摆镜，其特征在于所述在压力差分单元(14)和汇聚摆镜真空仓(3)之间还有一调节波纹管(11)。