[发明专利]一种显影液喷涂轨道机及其喷涂方法

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路装备制造技术领域，更具体的说，涉及一种显影液喷涂轨道机及其喷涂方法。

背景技术

集成电路的成型需要用到化学显影工艺，这就需要采用显影液喷涂轨道机。现有的主流轨道机中，一般有四个显影槽，上面两个，下面两个，如图1所示，位于同一层的两个显影槽11在同一水平面平行放置，每个显影槽内设置有冲洗模块14并放置有硅片12。每个显影槽各自使用自己的一套显影液喷涂装置13。现有的轨道机成本高昂；每个喷嘴处容易出现结晶状物质影响硅片良率；另外每个显影液喷涂装置定期需要喷吐冲洗（dummy dispense），显影液浪费比较严重；而且不同显影喷涂装置加工出来的硅片之间的线宽不一致，均匀度不好。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种可降低成本、改善硅片良率、减少显影液浪费、提高硅片之间线宽均齐度的显影液喷涂轨道机及其喷涂方法。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种显影液喷涂轨道机，包括至少两个互不交叠的显影槽、以及设置在显影槽上方的显影液喷涂装置，所述显影液喷涂装置包括喷嘴、与喷嘴连接的用于输送显影液的管路、固定喷嘴的机械臂，以及控制喷嘴和机械臂动作的控制单元，所述控制单元还包括定位模块，所述定位模块控制所述显影液喷涂装置在所述互不交叠的显影槽之间移动，并交替定位于其中一个显影槽中，进行显影液喷涂工艺。

进一步的，所述至少两个互不交叠的显影槽处于同一水平面。在同一水平面，喷涂装置的喷头距离每个显影槽之间的距离可以保持一定，这样每个显影槽喷涂后的一致性较好。

进一步的，所述显影液喷涂装置的初始位置对应设置在两个相邻的互不交叠的显影槽中间。这样显影液喷涂装置距离两个显影槽中硅片的距离之和最短，即显影液喷涂装置在工作过程中往返于两个显影槽的路径最短，可以提高显影液喷涂装置的加工效率。

进一步的，进一步的，所述相邻两个显影槽中间设有隔板，所述隔板在所述显影液喷涂装置的避让位置设有窗口，所述控制单元还包括开关模块，所述开关模块控制所述窗口在所述显影液喷涂装置偏离隔板的时候关闭，并控制所述窗口在所述显影液喷涂装置通过的时候打开。硅片显影工艺包括冲洗、负压吸气等过程，气体和液体的流动会影响到相邻的显影槽，因此本技术方案在两个显影槽中间加设隔板进行隔离，进一步提高硅片的良品率。而窗口的存在也能有效避让显影液喷涂装置。

进一步的，所述显影液喷涂装置的初始位置对应设置在的任意一个显影槽上方。本技术方案中，由于显影液喷涂装置在其中一个显影槽的上方，这样两个显影槽中间就可以加设隔板进行隔离，只有在显影液喷涂装置要移动到另一个显影槽的时候才需要打开隔板的窗口避让，这样两个显影槽在绝大部分时间是相互隔离的，各自的制程不会影响到对方，进一步提高隔离效果，有利于提高硅片的良品率。

进一步的，所述显影液喷涂轨道机至少有两层轨道，每一层轨道至少包括两个互不交叠的显影槽。

进一步的，所述每个显影槽内还设有清洗模块。此为一种具体的显影液喷涂轨道机结构，增加清洗模块可以在显影工艺完成以后将残留的显影液冲洗干净，方便后续的加工工序。

一种显影液喷涂轨道机的喷涂方法，包括步骤：

A、在至少两个互不交叠的相邻显影槽上方架设一套设有控制单元的显影液喷涂装置；

B、采用控制单元中的定位模块控制所述显影液喷涂装置在两个相邻显影槽之间移动，并交替定位于其中一个显影槽中，进行显影液喷涂作业。

进一步的，所述显影液喷涂轨道机至少包括两层显影槽，每一层设有两个在同一水平面平行放置的显影槽，所述两个显影槽中间的间壁具有相通结合部，所述步骤A中，将显影液喷涂装置的初始位置设置在两个显影槽的中间；所述步骤B包括：

B1、控制单元中的定位模块控制显影液喷涂装置从初始位置移动到其中一个显影槽的硅片上方位置进行喷涂作业；

B2、定位模块控制显影液喷涂装置返回初始位置；

B3、定位模块控制显影液喷涂装置从初始位置移动到另一个显影槽的硅片上方位置进行喷涂作业；

B4、定位模块控制显影液喷涂装置返回初始位置；

B5、返回步骤B1。

这样显影液喷涂装置距离两个显影槽中硅片的距离之和最短，即显影液喷涂装置在工作过程中往返于两个显影槽的路径最短，可以提高显影液喷涂装置的加工效率。

进一步的，所述步骤A中还包括在两个互不交叠的显影槽中间设置带窗口的隔板；打开窗口，将显影液喷涂装置的初始位置设置在两个显影槽的中间；所述步骤B包括：