[发明专利]硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法

权利要求书

1.一种硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法，其包括以下步骤：

（1）将硅锭线锯切割工艺的废液沉积以形成废料饼；

（2）采用预处理溶液对废料饼进行预处理，所述预处理溶液的组成为：0.5重量%-60重量%的氢氟酸、0.5重量%-95重量%的氟化铵，0.5重量%-20重量%的盐酸、0.5重量%-50重量%乙酸和0.5重量%-3重量%的有机溶剂；

（3）应用泡沫浮选法从步骤（2）的溶液中回收硅微粒。

2.如权利要求1所述的硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法，其中所述预处理溶液组成中氢氟酸的重量分数为1重量%-40重量%。

3.如权利要求1所述的硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法，其中所述预处理溶液组成中氟化铵的重量分数为0.5重量%-30重量%。

4.如权利要求1所述的硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法，其中所述预处理溶液组成中盐酸的重量分数为5重量%-15重量%。

5.如权利要求1所述的硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法，其中所述预处理溶液组成中乙酸的重量分数为0.5重量%-20重量%。

6.如权利要求1所述的硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法，其中所述预处理溶液组成中的有机溶剂为乙酸乙酯，其重量分数为0.5重量-1重量％。

7.如权利要求1-6中任一项所述的硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法，其中在步骤（3）的泡沫浮选法中，温度为10℃-40℃。

8.如权利要求1-6中任一项所述的硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法，其中在步骤（3）的泡沫浮选法中，气泡尺寸小于100微米。

9.如权利要求1-6中任一项所述的硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法，其中在步骤（3）的泡沫浮选法中，废料饼给进速度为每秒100-500毫升。