[发明专利]一种石墨舟预处理替代片及石墨舟预处理方法

权利要求书

1.一种石墨舟预处理替代片，用于石墨舟清洗后的预处理，所述石墨舟包括多个层叠设置的舟片，所述每一舟片上包括多个用于承载工件片的工艺卡点，其特征在于，所述石墨舟预处理替代片的形状与所述工艺卡点相匹配，其边缘区域厚度范围为100～300μm，其中心区域厚度范围为1～3mm。

2.根据权利要求1所述的石墨舟预处理替代片，其特征在于，所述石墨舟预处理替代片为边长为125mm或156mm的正方形，所述正方形的边缘区域为楔形，所述楔形的末端厚度为100～300μm。

3.根据权利要求2所述的石墨舟预处理替代片，其特征在于，所述每一替代片对应三个工艺卡点，所述工艺卡点分别支撑在每一替代片的三个侧面，所述每一代替片通过对应的工艺卡点倾斜5至10度设置在舟片上。

4.根据权利要求1所述的石墨舟预处理替代片，其特征在于，所述石墨舟预处理替代片的材质为石墨或碳纤维。

5.一种石墨舟预处理方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：a、提供一进行预处理的石墨舟，所述石墨舟上具有多个工艺卡点；b、提供与石墨舟数量相匹配的如权利要求1至3项任一项所述的石墨舟预处理替代片；c、将所述石墨舟预处理替代片设置在所述石墨舟的工艺卡点上；d、将所述石墨舟设置到化学气相沉积设备中沉积氮化硅。

6.根据权利要求5所述的石墨舟预处理方法，其特征在于，在步骤c中，所述化学气相沉积设备为等离子增强化学气相沉积设备。

7.根据权利要求5所述的石墨舟预处理方法，其特征在于，该方法还包括步骤e、通过氢氟酸溶液对所述石墨舟预处理替代片进行清洗。

8.根据权利要求7所述的石墨舟预处理方法，其特征在于，步骤e是在进行4至6次步骤d中氮化硅沉积后再进行。