[发明专利]一种声表面波滤波器无效
| 申请号： | 201210473603.4 | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102983833A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 梅欣;张俊 | 申请（专利权）人： | 溧阳市生产力促进中心 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H9/02;H03H3/08 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 查俊奎 |
| 地址： | 213300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种声表面波滤波器，包括衬底、沉积于所述衬底上的压电薄膜、位于所述压电薄膜上的输入叉指换能器与输出叉指换能器，其特征在于，所述压电薄膜为掺杂Ti、Nb和Mn的ZnO压电薄膜，其中，Ti的原子百分数为0.5～3.5％，Nb的原子百分数为2.5～6.0％，Mn的原子百分数为2.0～4.5％。
2.如权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述压电薄膜的厚度为250nm～350nm。
3.如权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述压电薄膜的压电常数为150pC/N～260pC/N。
4.如权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述压电薄膜地电阻率为107～1012Ω·cm。
5.如权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述衬底为金刚石、蓝宝石或碳化硅。
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