[发明专利]MWT太阳能电池及其制作方法

权利要求书

1.一种MWT太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括：

提供基底，所述基底包括本体层、位于本体层正面的减反射层和位于本体层背面的钝化层，该基底上具有多个贯穿所述减反射层、本体层和钝化层的通孔，且所述钝化层上还具有多个仅贯穿其自身的开口；

在所述通孔内填充导电浆料，使导电浆料充满整个通孔，以在所述通孔内形成导电电极，在所述基底背面形成第一背接触电极，所述第一背接触电极与所述导电电极电性相连；

在所述开口内填充导电浆料，使导电浆料充满所述开口，以在所述基底背面形成第二背接触电极，所述第二背接触电极与所述第一背接触电极绝缘；

在所述基底正面形成掺杂的接触栅线电极；

对基底进行烧结，使所述掺杂的接触栅线电极材料穿透所述减反射层，以实现所述掺杂的接触栅线电极与所述导电电极电性相连，并使所述掺杂的接触栅线电极中的杂质渗透到所述本体层表面内，以在所述本体层正表面内形成局部前表面场，并且，使所述第二背接触电极材料渗透到所述本体层表面内，以在所述本体层背表面内形成局部背发射极。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述导电电极、第一背接触电极、第二背接触电极和接触栅线电极的制作方法为丝网印刷法。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述导电电极和所述第一背接触电极是在相同的丝网印刷步骤下形成的。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述形成导电电极和第一背接触电极的导电浆料均为导电银浆，并且该导电银浆不能穿透所述本体层和所述钝化层。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述形成导电电极和第一背接触电极的导电浆料为两种不同的导电浆料，并且这两种不同的导电浆料均不能穿透所述本体层和所述钝化层。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述形成第二背接触电极的导电浆料为导电铝浆或者导电硼铝浆，并且该导电铝浆或者导电硼铝浆不能穿透所述钝化层。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述掺杂的接触栅线电极的材料为含有磷的导电银浆。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述本体层为N型硅片。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述基底进行烧结的温度为500℃～1000℃，包括端点。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述接触栅线电极中的杂质的渗透深度为0.1~0.5μm，包括端点。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二背接触电极材料的渗透深度为1~10μm，包括端点。

12.一种MWT太阳能电池，其特征在于，包括：

基底，所述基底包括本体层、位于本体层正面的减反射层和位于本体层背面的钝化层，该基底上具有多个贯穿减反射层、本体层和钝化层的通孔，且所述钝化层上还具有多个仅贯穿其自身的开口；

位于所述基底的通孔内的导电电极，所述导电电极充满所述通孔；

位于所述基底背面上的第一背接触电极，所述第一背接触电极与所述导电电极电性相连；

位于所述钝化层的开口内的第二背接触电极，所述第二背接触电极充满所述开口，并且与所述第一背接触电极绝缘；

位于所述基底正面的掺杂的接触栅线电极，所述掺杂的接触栅线电极与所述导电电极电性相连；

位于所述基底背表面内的局部背发射极，所述局部背发射极是由所述第二背接触电极在烧结过程中扩散形成的；

位于所述基底正表面内的局部前表面场，所述局部前表面场是由所述掺杂的接触栅线电极在烧结过程中扩散形成的。

13.根据权利要求12所述的太阳能电池，其特征在于，所述本体层为N型硅片。

14.根据权利要求12所述的太阳能电池，其特征在于，所述局部前表面场的结深为0.1~0.5μm，包括端点。

15.根据权利要求12所述的太阳能电池，其特征在于，所述局部背发射极的结深为1~10μm，包括端点。