[发明专利]纳米压印复合模板及其制备方法无效
| 申请号： | 201210471464.1 | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102955357A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 史晓华;冀然 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 215513 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 复合 模板 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米压印复合模板，其特征在于：所述复合模板为三层粘接结构，上层为高弹性模量PDMS层，中层为低弹性模量PDMS层，下层为塑料板或玻璃板，所述高弹性模量PDMS层的上表面具有微纳米压印结构。
2.根据权利要求1所述的纳米压印复合模板，其特征在于：所述塑料板为PET板或PC板。
3.根据权利要求1或2所述的纳米压印复合模板，其特征在于：所述高弹性模量PDMS层的弹性模量为9~12Mpa，所述低弹性模量PDMS层的弹性模量为2~3Mpa。
4. 权利要求1至3任意一项所述的纳米压印复合模板的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
1）在母模板表面旋涂抗粘剂；
2）在母模板上旋涂高弹性模量PDMS；
3）在高弹性模量PDMS上浇注低弹性模量PDMS；
4）在低弹性模量PDMS上粘附塑料板或玻璃板；
5）固化PDMS后与母模板分离，形成复合模板。
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