[发明专利]单晶炉及其加热器

权利要求书

1.一种单晶炉加热器，其特征在于，包括：

加热器本体(11)，所述加热器本体(11)呈筒状结构；以及

支撑部(12)，设置在所述加热器本体(11)的沿轴线方向的一端并形成沿径向向内延伸的径向延伸部，所述径向延伸部的内侧端部具有与底面相交以沿径向向内导流的倾斜导流面(13)。

2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述倾斜导流面(13)为平面，并与所述底面形成锐角。

3.根据权利要求2所述的加热器，其特征在于，所述锐角α设置为30≤α≤60。

4.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述倾斜导流面(13)为弧形面。

5.根据权利要求4所述的加热器，其特征在于，所述弧形面为内凹的弧形面。

6.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述倾斜导流面(13)与所述底面相交的一端具有突出于所述底面的凸起部。

7.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述支撑部(12)为多个，多个所述支撑部(12)沿所述加热器本体(11)的周向均匀设置。

8.一种单晶炉，包括石英坩埚(20)以及绕着所述石英坩埚(20)的外周侧设置的加热器(10)，其特征在于，所述加热器(10)为权利要求1至7中任一项所述的加热器。

9.根据权利要求8所述的单晶炉，其特征在于，还包括石墨坩埚(40)，所述石墨坩埚(40)设置在所述石英坩埚(20)和所述加热器(10)之间并包覆着所述石英坩埚(20)。

10.根据权利要求8所述的单晶炉，其特征在于，还包括石墨电极(30)，其中所述石墨电极(30)设置在所述加热器(10)的支撑部(12)下端，所述支撑部(12)通过螺栓固定在所述石墨电极(30)上，其中所述支撑部(12)的倾斜导流面(13)向外延伸至所述石墨电极(30)的径向外侧。