[发明专利]固态成像元件及其制造方法和电子设备

权利要求书

1.一种固态成像元件，包括：

转移部，所述转移部被配置为将所有像素中由光电转换部同时生成的电荷转移至存储部并且具有金属门；以及

光屏蔽部，所述光屏蔽部是通过在沟槽部分中填充金属而形成的，其中所述沟槽部分是通过在所述转移部周围挖掘层间绝缘膜而形成的。

2.如权利要求1所述的固态成像元件，其中

所述光屏蔽部的尖端部分是以朝着所述转移部周围的半导体基板伸入内衬膜的厚度的方式形成的，其中所述内衬膜是在所述层间绝缘膜和所述半导体基板之间形成的。

3.如权利要求1所述的固态成像元件，其中

所述转移部的金属门与所述光屏蔽部部分连接。

4.如权利要求1所述的固态成像元件，其中

在具有以阵列形式排列的多个像素的像素阵列部周围形成的外围电路部中形成所述光屏蔽部期间，形成了用作局部互连物的金属部。

5.一种制造方法，包括：

形成被配置为将所有像素中由光电转换部同时生成的电荷转移至存储部的转移部的金属门；

通过在所述转移部周围挖掘层间绝缘膜形成沟槽部分；以及

通过在所述沟槽部分中填充金属形成光屏蔽部。

6.一种电子设备，包括：

固态成像元件，所述固态成像元件包括：

转移部，所述转移部被配置为将所有像素中由光电转换部同时生成的电荷转移至存储部并且具有金属门；以及

光屏蔽部，所述光屏蔽部是通过在沟槽部分中填充金属而形成的，其中所述沟槽部分是通过在所述转移部周围挖掘层间绝缘膜而形成的。