[发明专利]一种产生法诺共振现象的金属-介质耦合谐振腔

权利要求书

1.一种金属-介质耦合谐振腔，其特征在于，所述耦合谐振腔包括：金属-介质-金属MIM波导、以及在MIM波导内的分支谐振腔（4）和两个挡板（5）；其中，所述MIM波导为三层平板结构，第一层（1）和第三层（3）为金属材料，二者之间为介质层（2）；所述分支谐振腔（4）从侧面耦合在金属-介质-金属MIM波导的介质层（2）上；所述两个挡板（5）垂直设置在介质层（2）内，并分别位于所述分支谐振腔（4）的两侧。

2.如权利要求1所述的耦合谐振腔，其特征在于，所述MIM波导的第一层（1）和第三层（3）采用金或银等。

3.如权利要求1所述的耦合谐振腔，其特征在于，所述介质层（2）的厚度h在10纳米至1微米之间。

4.如权利要求1所述的耦合谐振腔，其特征在于，所述分支谐振腔（4）的剖面为矩形，长度d在100nm~1000nm之间；宽度w在10nm~1000nm之间。

5.如权利要求1所述的耦合谐振腔，其特征在于，所述分支谐振腔（4）和介质层（2）为相同的介质。

6.如权利要求1所述的耦合谐振腔，其特征在于，所述两个挡板（5）的材料采用高折射率的介质或金属。

7.如权利要求1所述的耦合谐振腔，其特征在于，所述两个挡板（5）的厚度为1nm~100nm。