[发明专利]一种过滤装置

说明书

技术领域

本发明涉及硅片湿法处理领域，尤其涉及湿法处理设备中工艺腔内发生碎片后硅片残屑的过滤装置。

背景技术

在硅片的湿法处理设备的工艺过程中，经常会遇到硅片在工艺腔内碎掉的问题。由于硅片非常薄，一旦碎片后，会产生许多细小且锋利的碎屑，这种情况发生后需立即停止设备并对设备工艺腔进行清理，由于湿法处理设备用到多种化学药液，因此在硅片碎掉的同时，会有一部分碎屑在化学药液的带动下通过工艺腔内的排液口排走，这样碎屑会进入到与工艺腔连接的阀体内部，造成对阀体的损坏。通常一个工艺腔排液口之后可能会接有多个阀，如果碎屑对这些阀造成损坏会使得设备检修非常费时，而且湿法处理设备中用到的阀价格都比较昂贵，造成大量经济损失。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明的目的是，提供一种过滤装置，以解决湿法处理设备中工艺腔内发生碎片后，硅片碎屑的处理问题。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种过滤装置，包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，所述进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接所述进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，所述排液口接头的一端连接所述排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，所述过滤件设置在所述进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。

优选地，所述进液口接头和排液口接头均为直通接头或弯头。

优选地，所述进液口接头的口径尺寸小于或等于所述排液口接头的口径尺寸。

优选地，所述进液口接头连接件和排液口接头连接件的内壁均为光滑曲面，曲面的形式为圆锥面或带弧度面或不规则曲面。

优选地，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接处的口径尺寸大于其与所述进液口接头连接处的口径尺寸，所述排液口接头连接件与所述进液口接头连接件连接处的口径尺寸大于其与所述排液口接头连接处的口径尺寸。

优选地，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件的连接方式为螺纹连接或焊接。

优选地，所述进液口接头与所述进液口接头连接件以及所述排液口接头与所述排液口接头连接件的连接方式均为螺纹连接。所述螺纹连接的形式为NPT螺纹或RC螺纹等。

优选地，所述过滤件开有多个细小的孔，所述孔为圆锥孔或圆柱孔或不规则曲面孔，其排列形式为环形阵列或矩形阵列或不规则阵列；所述多个孔的截面积之和等于所述工艺腔排液口的口径尺寸。

优选地，所述过滤件与所述排液口接头连接件的连接方式为焊接或粘接。

（三）有益效果

本发明的过滤装置连接在工艺腔排液口和切换阀之间，当工艺腔内发生碎片后，硅片碎屑被化学药液带至过滤装置，通过过滤件将碎屑过滤掉，从而减少了碎屑对阀体的损害，在碎片后做维修时，只需对过滤装置进行维修、清理或更换，而不需要对过滤装置之后的阀做维修，这样降低了维修时间和维修成本，提高了阀的使用寿命。

附图说明

图1为本发明实施例过滤装置的内部结构图；

图2为本发明实施例过滤装置的外部结构图；

图3为本发明实施例过滤装置的实际连接图。

图中，1：进液口接头；2：进液口接头连接件；3：排液口接头连接件；4：排液口接头；5：过滤件；6：工艺腔；7：工艺腔排液口接头；8：连接管；9：切换阀；10：过滤装置。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。