[发明专利]一种甩胶方法无效
| 申请号: | 201210456754.9 | 申请日: | 2012-11-15 |
| 公开(公告)号: | CN103809381A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
| 发明(设计)人: | 毛华军 | 申请(专利权)人: | 毛华军 |
| 主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;B05D1/00;B05D3/12;B05D3/02 |
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| 地址: | 264006 山东省烟*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种甩胶方法,属于LED生产领域。
背景技术
目前常用的甩胶工艺为甩胶机转速为1000rpm,虽然甩胶速度较快,但是由于速度过快,容易出现甩胶不均匀、光刻胶黏附性差等现象,导致后工序出现掉电极的现象,降低了产品的良率。
发明内容
本发明针对现有技术存在的不足,提供一种甩胶方法。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种甩胶方法,其特征在于,所述工艺步骤如下:
(1) 将芯片放置真空吸盘上,打开真空吸盘开关;
(2) 用洗耳球吹掉表面杂物,然后用滴管把光刻胶滴在片子的中心,将甩胶机转速设至700rpm,甩胶时间设为10秒钟,按下开始(START)按钮,甩胶机开始涂胶,离心力把光刻胶甩到表面的所有地方,多余的光刻胶从旋转中的晶片上被甩掉,光刻胶溶液黏着在晶片上形成一层均匀的薄膜;
(3) 甩胶完成后,关掉真空吸盘开关,用滤纸将芯片取下,放至盛片盒中;
(4) 将烤箱温度设为98℃,把芯片放置烤箱内烘烤20分钟。
本发明的有益效果是:本发明通过对甩胶工艺进行改进,能够在甩胶时芯片上的胶膜更加的均匀,增加烘烤工艺,保证了胶膜的耐磨性及黏附性。
具体实施方式
以下对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
一种甩胶方法,其特征在于,所述工艺步骤如下:
(1) 将芯片放置真空吸盘上,打开真空吸盘开关;
(2) 用洗耳球吹掉表面杂物,然后用滴管把光刻胶滴在片子的中心,将甩胶机转速设至700rpm,甩胶时间设为10秒钟,按下开始(START)按钮,甩胶机开始涂胶,离心力把光刻胶甩到表面的所有地方,多余的光刻胶从旋转中的晶片上被甩掉,光刻胶溶液黏着在晶片上形成一层均匀的薄膜;
(3) 甩胶完成后,关掉真空吸盘开关,用滤纸将芯片取下,放至盛片盒中;
(4) 将烤箱温度设为98℃,把芯片放置烤箱内烘烤20分钟。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
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