[发明专利]具有改良式压柱的测试座及其测试系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种测试系统，特别涉及一种适用于测试各式不同半导体元件的具有改良式压柱的测试座及其测试系统。

背景技术

近几年来，随着微机电系统的日新月异，各种小型化、高性能且成本低廉的感应器纷纷问世，使得感应器由关键元件进一步提升成为产生创新价值的主要元件，例如：苹果公司的iPhone、新世代iPod、任天堂的Wii所使用的三轴加速度感应器，大部分采用微机电系统技术运用在传感器上，加速度感应器的运作原理为感应出加速度方向的XYZ三轴成分，从而得出物体在三维空间中的运动向量。

另外，由于为了使待测传感器更微小化，以及为了后续组装方便，在待测传感器表面或其内部常会配置有高敏感度的感应元件，其中感应元件包含电路图案、微机电结构等。在进行测试时，根据需要吸取待测传感器，由集料装置至测试装置上，并固定压制待测传感器，对应压制待测传感器的感应元件。此外，现有技术中的待测传感器可为加速度传感器或陀螺仪等，是待测传感器内建感应元件，虽然没有直接接触压制待测传感器的感应元件，其施压的垂直应力，易造成待测传感器内部的感应元件，在电性测试中失效，无法正确判断待测传感器为良品或不良品。再者，例如，压力传感器或微机电麦克风等，是待测传感器表面设开有感应元件，若对应压制待测传感器的感应元件，也更易造成测试失效。

有鉴于此，有必要设计一种避免造成待测传感器于测试中失效且可进行多点(multi sites)旋转测试的设备，以提高测试的良率、产能及完成所需测试。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种具有改良式压柱的测试座及其测试系统，其能根据不同待测传感器类型，更换相对应的套衬座，且可避免待测传感器上的感应元件测试失效，以提高测试良率，且能减少设备成本。

为达成上述目的，本发明的具有改良式压柱的测试座包括：一吸测盘、一套衬座及一基座。吸测盘具有多个压柱，每个压柱穿设有一通道及具有一图样的截面部；套衬座上具有可容纳多个待测传感器的多个容纳室，多个容纳室对应多个压柱而设置；基座上具有多个穿孔以容纳多个探针。其中，吸测盘的每一压柱分别置入套设于套衬座的每一容纳室，且每一压柱分别抵压每一待测传感器。

上述吸测盘的每一压柱的截面部可为对称或非对称的几何形状，如多边形、十字形、蝴蝶结形、圆形、椭圆形等或其组合，且每一压柱的通道可为圆柱体、椭圆形柱体、多边形柱体等或其组合，每一压柱的截面部及通道的形状也可任意搭配组合使用，主要是配合待测传感器所设计的感应元件的位置做调整，以避开待测传感器的感应元件，但又能施予待测传感器足够的吸力或压力，以平稳地进行移动或测试。

也就是说，当压柱要按压至待测传感器时，通道会对应待测传感器的感应元件，而压柱的截面部则对应接触待测传感器的非感应元件部位，以避开待测传感器的感应元件，但又能施予待测传感器足够的吸力或压力。

另外，上述吸测盘的每一压柱的截面部的尺寸可与待测传感器的尺寸相同，以提供足够的压力，也可在截面部设置一弹性层，用以抵触待测传感器，避免压力过大损坏待测传感器。

再者，套衬座可设计多种不同尺寸，以快速选用安装于吸测盘上，以容纳适当尺寸的待测传感器，方便操作人员换线测试不同尺寸的待测传感器，增加生产效率。

上述吸测盘的每一压柱可连通一真空源及一压力源，用以施予待测传感器足够的吸力或压力。本发明也可于基座上具有多个通孔，每一通孔连通一真空源及一压力源，用以施予待测传感器足够的吸力或压力。

本发明的使用具有改良式压柱测试座的测试系统包括：一第一机台、一第二机台、及一移行机构。其中，第一机台具有一分类模块，分类模块用以分类多个待测传感器的进料及依测试结果分类出料；第二机台设于第一机台的一侧，移行机构则与第一机台及第二机台相连接；第二机台包括一负载基板(load  board)、及一测试座，测试座则具有一吸测盘、一套衬座及一基座。其中，吸测盘具有多个压柱，每一压柱穿设有一通道及具有一图样的截面部；套衬座上具有可容纳多个待测传感器的多个容纳室，多个容纳室对应多个压柱而设置；基座上具有多个穿孔以容纳多个探针。其中，吸测盘的每一压柱分别置入套设于套衬座的每一容纳室，且每一压柱分别抵压每一待测传感器。

上述第一机台的分类模块可包括一第一本体、设于第一本体上的一转塔、围绕转塔而设置的一进料槽、一检视装置、及一料盘，料盘上具有多个凹槽。另外，上述移行机构还可以包含一取放器，取放器可用以吸取吸测盘。

上述第二机台的负载基板可具有多个夹头，用以夹持基座，以增加基座于测试时的平稳度。