[发明专利]对光纤耦合式激光二极管进行检查的检查方法

权利要求书

1.一种对光纤耦合式激光二极管进行检查的检查方法，其特征在于，包括：

光纤耦合式激光二极管设置工序，将光纤耦合式激光二极管设置在夹具上；

观察光学系统设置工序，将观察光学系统设置在所述光纤耦合式激光二极管的出射光的光路的下游侧；

判定工序，通过所述观察光学系统中的CCD相机观察所述光纤耦合式激光二极管的出射光来判定是否存在设置错误。

2.如权利要求1所述的对光纤耦合式激光二极管进行检查的检查方法，其特征在于，

在观察光学系统设置工序中，在所述光纤耦合式激光二极管的出射光的下游侧设置傅里叶透镜，在所述傅里叶透镜的所述出射光的下游侧设置傅里叶板，在所述傅里叶板的所述出射光的下游侧设置第一凸透镜、第二凸透镜、CCD相机，并且在第一凸透镜与第二凸透镜之间设置焦距小于第二凸透镜的焦距的第三凸透镜，

其中，所述第一凸透镜配置在与傅里叶板相距第一凸透镜的焦距的距离的位置，所述第二凸透镜配置在与第一凸透镜相距第一凸透镜与第二凸透镜的焦距之和的距离的位置，所述第三凸透镜设置在与第一凸透镜相距第一凸透镜与第三凸透镜的焦距之和的距离的位置，所述CCD相机配置在与第二凸透镜相距第二凸透镜的焦距的距离的位置。

3.如权利要求2所述的对光纤耦合式激光二极管进行检查的检查方法，其特征在于，在判定工序中，通过所述CCD相机观察所述光纤耦合式激光二极管的出射光的近场图像是否处于CCD相机的成像部的中央，来判定是否存在设置错误中的平行错位设置错误。

4.如权利要求2所述的对光纤耦合式激光二极管进行检查的检查方法，其特征在于，在判定工序中，取出所述第三透镜、通过所述CCD相机观察所述光纤耦合式激光二极管的出射光的远场图像是否处于CCD相机的成像部的中央，来判定是否存在设置错误中的倾斜设置错误。

5.如权利要求1所述的对光纤耦合式激光二极管进行检查的检查方法，其特征在于，还具有将能量测定光学系统设置在所述光纤耦合式激光二极管的出射光的光路的下游侧的能量测定光学系统设置工序。

6.如权利要求5所述的对光纤耦合式激光二极管进行检查的检查方法，其特征在于，所述观察光学系统和所述能量测定光学系统不处于同一光路上，通过可动反光镜改变所述光纤耦合式激光二极管的出射光的光路，使所述出射光射入所述观察光学系统或所述能量测定光学系统。

7.如权利要求6所述的对光纤耦合式激光二极管进行检查的检查方法，其特征在于，所述观察光学系统和所述能量测定光学系统的光路相差90度。

8.如权利要求6或7所述的对光纤耦合式激光二极管进行检查的检查方法，其特征在于，在调整可动反光镜使所述出射光射入所述观察光学系统进行设置错误检查并进行调整之后，调整可动反光镜使所述出射光分别射入能量测定光学系统来测定输出开口比。

9.一种对光纤耦合式激光二极管进行检查的光学系统，其特征在于，包括观察光学系统，通过所述观察光学系统观察所述光纤耦合式激光二极管的出射光来判定是否存在设置错误。

10.如权利要求9所述的对光纤耦合式激光二极管进行检查的光学系统，其特征在于，

所述观察光学系统包括设置在所述光纤耦合式激光二极管的出射光的下游侧的傅里叶透镜、设置在所述傅里叶透镜的所述出射光的下游侧的傅里叶板、以及在所述傅里叶板的所述出射光的下游侧依次设置的第一凸透镜、第二凸透镜和CCD相机，

其中，所述第一凸透镜配置在与傅里叶板相距第一凸透镜的焦距的距离的位置，所述第二凸透镜配置在与第一凸透镜相距第一凸透镜与第二凸透镜的焦距之和的距离的位置，所述CCD相机配置在与第二凸透镜相距第二凸透镜的焦距的距离的位置。

11.如权利要求10所述的对光纤耦合式激光二极管进行检查的光学系统，其特征在于，所述观察光学系统还包括设置在第一凸透镜与第二凸透镜之间的焦距小于第二凸透镜的焦距的第三凸透镜，该第三凸透镜设置在与第一凸透镜相距第一凸透镜与第三凸透镜的焦距之和的距离的位置。

12.如权利要求10或11所述的对光纤耦合式激光二极管进行检查的光学系统，其特征在于，还具有用于求出输出开口比的能量测定光学系统。