[发明专利]曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法

权利要求书

1.一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，其包含：

至少三个水平向驱动部，其水平活动设置于该曝光机，该等水平向驱动部分别具有第一斜面连接单元；

至少三个水平向驱动源，其设置于该曝光机以分别驱动该等水平向驱动部；

至少三个垂直向被动部，其垂直活动设置于该曝光机，该等垂直向被动部分别具有第二斜面连接单元以分别与该等第一斜面连接单元面对面活动连接；以及

至少三个万向接头，其分别以一侧连接该等垂直向被动部，及分别以另一侧连接该光罩结构。

2.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，还包含至少三个水平向座体、至少三个垂直向座体或以上两者，其设置于该曝光机，该等水平向驱动部分别水平活动设置于该等水平向座体，该等垂直向驱动部分别垂直活动设置于该等垂直向座体。

3.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等水平向驱动部分别具有水平向导轨，该曝光机具有至少三个水平向导槽，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽；或，该等水平向驱动部分别具有水平向导槽，该曝光机具有至少三个水平向导轨，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。

4.如权利要求2所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等水平向驱动部分别具有水平向导轨，该等水平向座体分别具有水平向导槽，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽；或，该等水平向驱动部分别具有水平向导槽，该等水平向座体分别具有一水平向导轨，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。

5.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等水平向驱动源设置于该曝光机，该等水平向驱动源分别具有一驱动单元，该等水平向驱动部分别具有被动单元，该等驱动单元分别与该等被动单元连接。

6.如权利要求2所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等水平向驱动源设置于该曝光机或分别设置于该等水平向座体，该等水平向驱动源分别具有驱动单元，该等水平向驱动部分别具有一被动单元，该等驱动单元分别与该等被动单元连接。

7.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等垂直向被动部分别具有垂直向导轨，该曝光机具有至少三个垂直向导槽，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽；或，该等垂直向被动部分别具有垂直向导槽，该曝光机具有至少三个垂直向导轨，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽。

8.如权利要求2所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等垂直向被动部分别具有垂直向导轨，该等垂直向座体分别具有一垂直向导槽，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽；或，该等垂直向被动部分别具有垂直向导槽，该等垂直向座体分别具有垂直向导轨，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽。

9.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等第一斜面连接单元分别具有斜向导轨，该等第二斜面连接单元分别具有斜向导槽，该等斜向导轨分别活动设置于该等斜向导槽；或，该等第一斜面连接单元分别具有斜向导槽，该等第二斜面连接单元分别具有斜向导轨，该等斜向导轨分别活动设置于该等斜向导槽。

10.一种曝光机光罩结构的水平角度调整方法，其特征在于其包含下列步骤：

提供如权利要求1至9中任一项所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构；以及

激活至少一水平向驱动源以调整该光罩结构的水平角度。