[发明专利]带离子阱的脉冲式辉光放电离子源

权利要求书

1. 一种带离子阱的脉冲式辉光放电离子源，其特征在于，包括：电源、能够产生离子的放电体C和离子引出电极B2，放电体C的高压端连接电源，低压端通过相互串联的限流电阻R1和高压开关S1接地，离子引出电极B2的一端通过分压电阻R3连接放电体C的高压端，另一端通过相互串联的分压电阻R2和高压开关S2接地，放电体C包括两个位置相对的正负放电电极和筒状可提供稳定的脉冲辉光放电区域的离子源电极筒B1，该正负放电电极通过开设在离子源电极筒侧壁上的开孔伸入到离子源电极筒内，并由离子源电极筒B1与离子引出电极B2构成离子阱以限制离子扩散。

2. 根据权利要求1所述的脉冲式辉光放电离子源，其特征在于，所述正负放电电极中用于连接电阻R1的放电电极，其外部设置有用于起安全防护作用的绝缘体A2。

3. 根据权利要求1或者2所述的脉冲式辉光放电离子源，其特征在于，所述正负放电电极为针状放电电极。

4. 根据权利要求1或者2所述的脉冲式辉光放电离子源，其特征在于，所述离子源电极筒B1为金属筒。

5. 根据权利要求根据权利要求1或者2所述的脉冲式辉光放电离子源，其特征在于，所述离子源电极筒B1为圆筒状。

6. 根据权利要求5所述的脉冲式辉光放电离子源，其特征在于，所述离子源电极筒B1的内径范围在100微米到30毫米之间。

7. 根据权利要求1或者2所述的脉冲式辉光放电离子源，其特征在于，所述离子引出电极B2为环状的或者锥状的金属环。

8. 根据权利要求7所述的脉冲式辉光放电离子源，其特征在于，所述离子引出电极B2的内径范围在1微米到30毫米之间。

9. 根据权利要求1所述的脉冲式辉光放电离子源，其特征在于，所述正负放电电极之间的间距在1毫米至10毫米之间。

10. 根据权利要求1所述的脉冲式辉光放电离子源，其特征在于，所述电源为高压电源，其电压范围为3KV至30KV。