[发明专利]具有减噪功能的平板型高场非对称波形离子迁移谱仪有效
| 申请号: | 201210448596.2 | 申请日: | 2012-11-09 |
| 公开(公告)号: | CN102945786A | 公开(公告)日: | 2013-02-27 |
| 发明(设计)人: | 唐飞;王晓浩;徐初隆 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
| 主分类号: | H01J49/26 | 分类号: | H01J49/26;H01J49/06 |
| 代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 邸更岩 |
| 地址: | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 功能 平板 型高场非 对称 波形 离子 迁移 | ||
1.一种具有减噪功能的平板型高场非对称波形离子迁移谱仪,所述的平板型高场非对称波形离子迁移谱仪包括离子源(2)、迁移区(3)和检测单元(10);在迁移区(3)内平行放置上基片(4)和下基片(5),在上基片(4)和下基片(5)上分别设置上迁移区电极(6)和下迁移区电极(7),上迁移区电极(6)分别与非对称波形射频电源(9)和直流扫描补偿电源(8)相连;所述的检测单元由电流检测电极(12)和电流检测偏转电极(11)组成,电流检测电极(12)放置在上基片(4)上,电流检测偏转电极(11)放置在下基片(5)上,其特征在于:在上迁移区电极(6)周围设置一圈迁移区屏蔽电极(13),在电流检测电极(12)周围设置一圈电流检测屏蔽电极(14),两圈屏蔽电极分别接地;上迁移区电极(6)和迁移区屏蔽电极(13)之间,以及电流检测电极(12)和电流检测屏蔽电极(14)之间以空气或者绝缘材料进行绝缘。
2.按照权利要求1所述的一种具有减噪功能的平板型高场非对称波形离子迁移谱仪,其特征在于:在下迁移区电极(7)加上一个直流电压(15)。
3.按照权利要求1所述的一种具有减噪功能的平板型高场非对称波形离子迁移谱仪,其特征在于:在迁移区(3)前端设置至少一个聚焦区(16),在每个聚焦区(16)的上基片(4)和下基片(5)上至少设置一副聚焦极板对,并上下正对,同时在每副聚焦极板对上施加电压,施加的电压有两种模式,一种为直流聚焦模式,另一种为射频聚焦模式;直流聚焦模式为在聚焦极板对上间隔施加相同的直流电压;射频聚焦模式为在每副聚焦极板对上施加正弦射频电压,相邻聚焦极板对的正弦射频电压相位相差180°。
4.按照权利要求1、2或3所述的一种具有减噪功能的平板型高场非对称波形离子迁移谱仪,其特征在于:所述的迁移区屏蔽电极(13)的形状与上迁移区电极(6)的形状相同或不同;所述的电流检测屏蔽电极(14)的形状与电流检测电极(12)的形状相同或不同。
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