[发明专利]一种压电泵

权利要求书

1.一种压电泵，其特征在于：包括泵体（1）及设置于所述泵体（1）中部将泵体（1）分隔为彼此隔离的进水腔（3）和出水腔（4）的泵芯（2），所述泵体（1）上在进水腔（3）侧设有进水口（5），所述泵体（1）上在出水腔（4）侧设有出水口（6），所述泵芯（2）包括一膜片（21）及贴覆于所述膜片（21）上或者膜片（21）两侧的环形压电陶瓷片（22），所述膜片（21）上设有若干锥形孔。

2.根据权利要求1所述的压电泵，其特征在于：所述膜片（21）完全覆盖环形压电陶瓷片（22）的环孔位置，各锥形孔均位于环形压电陶瓷片（22）的环内位置。

3.根据权利要求1或2所述的压电泵，其特征在于：所述膜片（21）的中部设有一凸起（211），所述各锥形孔均位于凸起（211）上。

4.根据权利要求1或2所述的压电泵，其特征在于：所述膜片（21）为一平整膜片。

5.根据权利要求1或2所述的压电泵，其特征在于：所述各锥形孔的锥形孔进水口的直径为50～500μm，所述各锥形孔的锥形孔出水口的直径为2～50μm。

6.根据权利要求1或2所述的压电泵，其特征在于：所述泵体（1）包括彼此配合的上盖（11）和下盖（12），所述泵芯（2）夹设在上盖（11）和下盖（12）之间。

7.根据权利要求6所述的压电泵，其特征在于：所述膜片（21）的截面积大于上盖（11）和下盖（12）的截面积，所述环形压电陶瓷片（22）贴覆于泵体（1）的外圈四周。

8.根据权利要求6所述的压电泵，其特征在于：所述上盖（11）和下盖（12）与膜片（21）间均设有密封圈。

9.根据权利要求1或2所述的压电泵，其特征在于：所述膜片（21）为弹性材料膜片。