[发明专利]有机发光显示装置及其制造方法有效
申请号: | 201210442419.3 | 申请日: | 2012-11-08 |
公开(公告)号: | CN103165527A | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 赵晟焕 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77;H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩明星 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光 显示装置 及其 制造 方法 | ||
本申请要求于在2011年12月19日在韩国知识产权局提交的第10-2011-0137408号韩国专利申请的优先权和权益,该韩国专利申请的公开通过引用其全部内容被包含于此。
技术领域
本发明涉及一种有机发光显示装置以及一种制造该有机发光显示装置的方法。
背景技术
通常,有机发光显示装置可以应用于移动设备(诸如数码相机、摄影机、便携式摄像机、便携式信息终端、智能电话、超薄笔记本、台式个人计算机以及柔性显示设备)或者电子/电气设备(诸如超薄电视机)的显示装置。
有机发光显示装置具有发射层(EML)置于阳极和阴极之间的堆叠结构。然而,通过所述结构难以获得高效率的发射,因此,可以在阳极和阴极之间选择性地插入诸如电子注入层(EIL)、电子传输层(ETL)、空穴传输层(HTL)以及空穴注入层(HIL)和/或类似的层的中间层,并且可以使用中间层。
通常,通过诸如喷嘴印刷方法、沉积方法等若干方法制造有机发光显示装置。例如,EML可以通过喷嘴印刷方法形成,中间层可以通过沉积方法形成。在利用沉积方法的情况下,用于中间层的溶剂,例如,用于HTL的溶液的溶剂,在沉积工艺中会溶解EML,从而会劣化界面特性。另外,通过利用喷嘴印刷方法和沉积方法二者,投入成本会增加,会需要用于设备的大的空间,并且会难以或者不能够布置基于流水线的设备(in-1ine basedequipment)。
发明内容
根据本发明的实施例提供一种有机发光显示装置以及一种制造该有机发光显示装置的方法,其中,利用静电喷射方法通过溶解工艺制造有机发光显示装置的有机发光二极管(OLED)。
根据本发明的实施例的一方面,提供一种制造有机发光显示装置的方法,所述方法包括在基底上形成多个薄膜晶体管(TFT)并且形成多个有机发光二极管(OLED),每个OLED包括:第一电极,具有被位于薄膜晶体管上的像素限定层暴露的部分;有机层,位于第一电极的暴露的部分上并且包括被构造为发射具有多种颜色中的至少一种颜色的光的发射层(EML);第二电极,位于有机层上,其中,在多个子像素区域中的具有一种颜色的子像素区域和具有其他颜色的其他子像素区域中的每个子像素区域中形成EML,通过在PDL中形成开口来形成所述多个子像素区域,在所述具有一种颜色的子像素区域中形成与所述具有一种颜色的子像素区域连通的溶液供应单元,通过溶液供应单元向所述具有一种颜色的子像素区域和所述具有其他颜色的其他子像素区域供应用于多种颜色的发射层原料。
经由被通电的喷嘴单元可以将发射层原料中的至少一种喷射到溶液供应单元,发射层原料中的所述至少一种可以移动到与溶液供应单元连通的子像素区域,从而可以形成EML。
可以通过下述步骤形成EML:使发射层原料中的包括液体发射层原料的至少一种带电;通过经由喷嘴单元喷射带电的液体发射层原料来形成液滴,而后经由溶液供应单元形成EML。
使液体发射层原料带电的步骤可以包括向液体发射层原料施加电势差。
可以向喷嘴单元施加正电压,从而液体发射层原料可以带正电而后可以经由喷嘴单元喷射,基底可以电结合到地电压源。
EML可以包括第一颜色发射层、第二颜色发射层和第三颜色发射层,第一颜色发射层可以形成在子像素区域的第一子像素区域中,第一子像素区域可以与第一子像素区域溶液供应单元连通,第二颜色发射层可以形成在子像素区域的第二子像素区域中,第二子像素区域可以与第二子像素区域溶液供应单元连通,第三颜色发射层可以形成在子像素区域的第三子像素区域中,处于液态并且带电的第一颜色发射层原料和第二颜色发射层原料可以分别经由第一子像素区域溶液供应单元和第二子像素区域溶液供应单元喷射,由于斥力可以分别移动到第一子像素区域和第二子像素区域,而后可以分别形成第一颜色发射层和第二颜色发射层。
多个第一子像素区域、多个第二子像素区域和多个第三子像素区域可以沿基底的一个方向交替地形成,第一子像素区域溶液供应单元和第二子像素区域溶液供应单元可以形成在基底的侧端上,所述多个第一子像素区域全部可以与第一子像素区域溶液供应单元连通,所述多个第二子像素区域全部可以与第二子像素区域溶液供应单元连通。
第一子像素区域溶液供应单元和第二子像素区域溶液供应单元可以沿基底的一个方向延伸,所述多个第一子像素区域和所述多个第二子像素区域可以分别沿与第一子像素区域溶液供应单元和第二子像素区域溶液供应单元交叉的方向形成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造