[发明专利]一种带二维角度调节功能的真空吸附平台

权利要求书

1.一种带二维角度调节功能的真空吸附平台，其特征在于：包括底座（2）、固定底座（3）、真空吸盘（4）、二维角度调整座（5）和抽气管（6）；其外部装置为真空泵；

其中，所述底座（2）为上下两台阶段结构；

在所述真空吸盘（4）中心位置开有吸附气腔（8），在所述真空吸盘（4）的外端面开有吸附气槽（7）；

所述二维角度调整座（5）由第一调整层、第二调整层、第三调整层、垂直柔性铰链（13）和水平柔性铰链（14）组成；所述垂直柔性铰链（13）设在第二调整层和第三调整层之间，所述水平柔性铰链（14）设在第一调整层和第二调整层之间；

其连接关系在于：所述固定底座（3）固定安装在所述底座（2）的上台阶段上，所述二维角度调整座（5）通过第一调整层固定安装在所述所述固定底座（3）的上端部，所述真空吸盘（4）固定安装在所述二维角度调整座（5）的第三调整层外侧，所述抽气管（6）一端与真空吸盘（4）的吸附气腔（8）和吸附气槽（7）贯通并与外密封；所述抽气管（6）的另一端与真空泵相连。

2.根据权利要求1所述的一种带二维角度调节功能的真空吸附平台，其特征在于：所述底座（2）通过在其下台阶段开孔用螺钉（1）进行固定。

3.根据权利要求1或2所述的一种带二维角度调节功能的真空吸附平台，其特征在于：在所述真空吸盘（4）的吸附气槽（7）和吸附气腔（8）是通过开有吸附气孔（12）与抽气管（6）贯通。

4.根据权利要求1或2所述的一种带二维角度调节功能的真空吸附平台，其特征在于：在所述二维角度调整座（5）第二调整层和第三调整层之间的垂直柔性铰链（13）为均布设置的四个。

5.根据权利要求1或2所述的一种带二维角度调节功能的真空吸附平台，其特征在于：在所述二维角度调整座（5）第一调整层和第二调整层之间的水平柔性铰链（14）为均布设置的四个。

6.根据权利要求1或2所述的一种带二维角度调节功能的真空吸附平台，其特征在于：在所述真空吸盘（4）上外圆周面上装有堵头（10）。

7.根据权利要求1或2所述的一种带二维角度调节功能的真空吸附平台，其特征在于：在所述二维角度调整座（5）的端面上设有水平偏摆调解螺钉（9）和垂直偏摆调解螺钉（11）。