[发明专利]一种用于制造发光器件的蓝宝石组合衬底无效
| 申请号： | 201210441019.0 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN102983239A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 虞浩辉;周宇杭 | 申请（专利权）人： | 江苏威纳德照明科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/12 | 分类号： | H01L33/12;H01S5/02 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 黄明哲 |
| 地址： | 213342 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制造 发光 器件 蓝宝石 组合 衬底 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于制造发光器件的蓝宝石组合衬底，其特征在于，
该组合衬底包括：
蓝宝石；
在蓝宝石上有一层非晶氮化铝层，非晶氮化铝层的厚度优选为300～900nm；
在非晶氮化铝层上有一层单晶氮化铝薄膜，单晶氮化铝薄膜包括多个周期性排列的阵列单元，单晶氮化铝薄膜的厚度优选为20～40nm，每个阵列单元的尺寸优选为300×300nm2～1000×1000nm2，每个阵列单元之间的间隔优选为80～400nm。
2.如权利要求1所述的组合衬底，其特征在于，所述非晶氮化铝层的厚度优选为400～600nm。
3.如权利要求1所述的组合衬底，其特征在于，所述每个阵列单元的尺寸优选为400×400nm2～500×500nm。
4.如权利要求1所述的组合衬底，其特征在于，所述每个阵列单元之间的间隔优选为150～250nm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏威纳德照明科技有限公司，未经江苏威纳德照明科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210441019.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
