[发明专利]一种晶圆浸泡装置

权利要求书

1.一种晶圆浸泡装置，其特征在于：包括片盒（2)、储液槽（3)、底板（4）、电动执行器（6)、升降连杆（11）及传片窗口（12），其中储液槽（3）及电动执行器（6）分别安装在底板（4）上，片盒（2）位于储液槽（3）内，所述升降连杆（11）的一端与电动执行器（6）的输出端相连，另一端插入储液槽（3）内、与所述片盒（2）铰接；所述储液槽（3）内的下部盛有浸泡晶片（1）的化学液，上部的槽壁上开有供机械手将晶片（1）送入片盒（2）中的传片窗口（12）；所述电动执行器（6）驱动升降连杆（11）带动片盒（2）升降，使片盒（2）上升到与所述传片窗口（12）相对应的高度取/放晶片（1），或使片盒（2）下降浸入到化学液以下浸泡晶片（1）。

2.按权利要求1所述的晶圆浸泡装置，其特征在于：所述电动执行器（6）的输出端还连接有倾斜气缸（10），该倾斜气缸（10）的输出端与倾斜连杆（9）的一端连接，所述倾斜连杆（9）的另一端插入储液槽（3）内、与所述片盒（2）铰接，所述倾斜气缸（10）驱动倾斜连杆（9）带动片盒（2）向后倾斜；所述储液槽（3）内盛有化学液的下部安装有超声波发生器（7）。

3.按权利要求2所述的晶圆浸泡装置，其特征在于：所述电动执行器（6）通过支架（5）固定在底板（4）上，电动执行器（6）的输出端连接有安装板（16），所述倾斜气缸（10）固定在该安装板（16）上；所述升降连杆（11）的一端通过第一连接板（17）与安装板（16）固接，倾斜连杆（9）的一端通过第二连接板（18）与倾斜气缸（10）的输出端相连。

4.按权利要求3所述的晶圆浸泡装置，其特征在于：所述升降连杆（11）及倾斜连杆（9）之间平行，第一连接板（17）与第二连接板（18）上下平行设置。

5.按权利要求1或2所述的晶圆浸泡装置，其特征在于：所述储液槽（3）的远离电动执行器（6）一侧的顶部边缘安装有升降气缸（15），该升降气缸（15）的输出端连接有开关所述传片窗口（12）的挡板（14）。

6.按权利要求1或2所述的晶圆浸泡装置，其特征在于：所述储液槽（3）盛有化学液的下部的外表面贴有加热片（13）。

7.按权利要求1或2所述的晶圆浸泡装置，其特征在于：所述储液槽（3）上部的槽臂分别开有维修窗口（8）及观察窗口（21）。

8.按权利要求1或2所述的晶圆浸泡装置，其特征在于：所述储液槽（3）的顶面开有加液口（19），储液槽（3）的底面及底板（4）上开有排液口（20）。