[发明专利]电子器件的封装方法有效
申请号: | 201210438931.0 | 申请日: | 2012-11-05 |
公开(公告)号: | CN102983085A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 虞浩辉;周宇杭 | 申请(专利权)人: | 江苏威纳德照明科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 黄明哲 |
地址: | 213342 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子器件 封装 方法 | ||
1.一种电子器件的封装方法,包括如下步骤:
(1)将电子器件放置在刚性或柔性基板上;
(2)在电子器件的表面形成一层无机薄膜材料;
(3)在所述无机薄膜材料上涂覆封装树脂;
(4)对所述封装树脂照射紫外光,使得该封装树脂固化;
(5)对上述步骤(2)至(3)重复2到10次。
2.如权利要求1所述的电子器件的封装方法,其特征在于:
其中,所述无机薄膜材料可以通过真空蒸镀、等离子增强化学气相沉积、高密度电感耦合式等离子体源化学气相沉积、触媒式化学气相沉积中的一种来形成;所述封装树脂可以通过喷墨打印、浸涂、辊涂、喷涂、旋涂中的一种方式来形成。
3.如权利要求1或2所述的电子器件的封装方法,其特征在于:
其中,所述无机薄膜材料为金属氧化物或金属氮化物,所述金属氧化物包括:氧化钙、氧化锆、氧化铬、氧化锡、氧化铜、氧化钛、氧化锌、氧化铝、氧化镍,所述金属氮化物包括:氮化铝、氮化硅。
4.如权利要求1-3之一所述的电子器件的封装方法,其特征在于:
其中,所述封装树脂为能够通过照射紫外光而被固化的树脂,其质量百分比的成分组成如下:25~65%的改性SiO2溶胶、10~30%的溶剂、3%的光引发剂、0.2%的助剂、6~13%的防静电剂以及15~55%的紫外光固化树脂。
5.如权利要求4所述的电子器件的封装方法,其特征在于:
其中,所述溶剂包括水和任何水溶性或水混溶性的醇,例如甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇等,或醇醚如丙二醇甲醚、乙二醇丁醚等。
6.如权利要求4-5之一所述的电子器件的封装方法,其特征在于:
所述光引发剂为二苯甲酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、1-羟基-环己基苯酮;优选为二苯甲酮。
7.如权利要求4-6之一所述的电子器件的封装方法,其特征在于:
所述助剂为消泡剂,例如有机硅消泡剂、乙烯基聚合物和丙烯酸共聚消泡剂、聚醚消泡剂任意之一。
8.如权利要求4-7之一所述的电子器件的封装方法,其特征在于:
所述防静电剂为可聚合季铵盐表面活性剂,例如甲基丙烯酰氧乙基-苄基-二甲基氯化铵(MBDAC),甲基丙烯酰氧乙基-丁基-二甲基溴化铵(MBDAB)和甲基丙烯酰氧乙基-乙基-二甲基溴化铵(MEDAB)任意之一。
9.如权利要求4-8之一所述的电子器件的封装方法,其特征在于:
所述紫外光固化树脂包括以下质量百分比的组份:5~30%的丙三醇、15~40%的环氧化十六碳共轭三烯酸甘油酯、10~40%的三甲醇基丙烷、0.5~1%的对苯二酚、8~15%的乙基甲基丙烯酸酯、10~25%的甲苯二异氰酸酯、20~40%的四氢呋喃、3~8%的二甲氧基苯基甲酮、10~35%的甲基丙烯酸甲酯、≤1%的氧化铅。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造