[发明专利]光电催化剂多层氧化锌纳米线阵列的制备方法

权利要求书

1.一种光电催化剂多层氧化锌纳米线阵列的制备方法，其特征在于该方法的具体步骤为：

a)        将单面抛光的100硅片进行预处理； 

b)        将二水合乙酸锌溶于乙醇中配制成浓度为0.01-0.02M的溶液，然后旋涂在步骤a所得硅片上15-20次，烘干；

c)        将石墨粉和氧化锌按1:1的的质量比研磨，使其充分混合后，采用化学气相沉积法，在步骤b所得沉积上氧化锌，工艺参数为：以35-70 sccm的流速通入氩气和1-2 sccm流速通入氧气，保持真空度恒为400 mbar，在900-950℃温度下，保温30分钟，待温度降至室温后取出样品； 

d)        将六水合硝酸锌和六亚甲基四胺溶于去离子水中配制成浓度分别为0.02-0.025 M和0.02-0.025 M的混合溶液，搅拌至完全溶解。将步骤c)所得样品悬浮于上述混合溶液中，90 ℃反应1-2小时，反应结束后，将样品用去离子水、乙醇清洗后烘干；

e)重复步骤c) 和步骤d)一至四次，最终得到一层、两层、三层或四层的氧化锌纳米线阵列光电催化剂。

2.根据权利要求1所述的光电催化剂多层氧化锌纳米线阵列的制备方法，其特征在于步骤a所述的预处理的具体方法为：将单面抛光的100硅片放入乙醇、丙酮溶液中超声，除去硅片表面有机物，然后放入浓硫酸、双氧水混合溶液中加热，去除硅表面的氧化物、金属杂质等。将处理后的硅片放入超纯水中超声，去除表面残留酸液。