[发明专利]一种二维快速控制反射镜

权利要求书

1.一种二维反射镜，其特征在于，它包括反射镜片(1)，第一、第二支架(2、3)，第一柔性铰链(4)，第一至第三压电驱动器(5、6、7)，一级倾斜平台(8)，底座(9)，以及控制驱动系统；

第一支架(2)和第二支架(3)对称固定在底座(9)的一条中轴线上，一级倾斜平台(8)位于第一支架(2)和第二支架(3)之间的下方，三个压电驱动器(5、6、7)依次排列在一级倾斜平台(8)和第一支架(2)、第二支架(3)所包围的空间内，其中，第一驱动器(5)的上端与第一支架(2)固定连接，第三驱动器(7)的上端与第二支架(3)固定连接，第一驱动器(5)和第三驱动器(7)的下端均与一级倾斜平台(8)相连；第二驱动器(6)下端固定在一级倾斜平台(8)的底部，上端通过第一柔性铰链(4)与一级倾斜平台(8)顶部连接，反射镜片(1)固定在第一柔性铰链(4)上；所述控制驱动系统与第一至第三压电驱动器(5、6、7)电连接，用于实现对反射镜片(1)偏转角度的闭环控制。

2.根据权利要求1所述的二维反射镜，其特征在于，第一至第三压电驱动器(5、6、7)结构相同，压电驱动器均由位移放大机构、电阻应变片和压电陶瓷组成；电阻应变片紧密粘在压电陶瓷上，压电陶瓷紧密嵌入位移放大机构中空部分。

3.根据权利要求2所述的二维反射镜，其特征在于，位移放大机构为一个椭圆形的弹性圈。

4.根据权利要求1、2或3所述的二维反射镜，其特征在于，一级倾斜平台(8)由连接杆(8a)，一对第二柔性铰链(8b)和底面板(8c)组成；底面板(8c)为长条形平面板，一对第二柔性铰链(8b)对称位于底面板(8c)两边，且靠近底面板(8c)的一端，连接杆(8a)固定在底面板(8c)另一端，由一竖直长条形平面板和水平长条形平面板组成，连接杆(8a)的水平长条形平面部分平行的位于底面板(8c)正上方。

5.根据权利要求2或3所述的二维反射镜，其特征在于，所述控制驱动系统包括信号处理电路、模数转换电路、DSP控制器、PID控制器、数模转换电路和驱动电路；

信号处理电路用于接收各压电驱动器的信号，并提供给模数转换电路；

模数转换电路的功能是将接收的模拟信号转换为数字信号，提供给DSP控制器；

DSP控制器用对接收信号进行处理，得到偏转角度误差，进行数字PID控制，得到控制信号，经数模转换电路提供给驱动电路；

驱动电路将接收信号进行功率放大，用于驱动三个压电陶瓷。