[发明专利]磁性传感器装置和用于制造磁性传感器装置的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种磁性传感器装置和用于制造磁性传感器装置的方法。

背景技术

磁性传感器装置能够检测磁性金属件的运动，并能够（例如）被构造成用于测量磁性齿轮的速度。这种磁性速度传感器一般包括具有多个磁性传感器元件的集成电路，所述磁性传感器元件例如，霍尔传感器元件或磁阻传感器（XMR传感器）（例如，AMR（各向异性磁阻）传感器或巨磁阻（GMR）传感器）。永磁体对传感器元件提供偏置磁场。齿轮转动时，齿轮的齿在传感器前方经过，并产生小的磁场变动，该磁场变动由传感器检测并由集成电路处理。检测到的磁场包含关于齿轮的角位置和转速的信息。关于这种磁性传感器装置的制造，稳定的需求是，减少或简化制造步骤，特别是减少拾取-放置步骤或模制步骤。另一个稳定需求与磁性传感器装置封装的尺寸以及与永磁体的形状的可变性有关，因为理想的是，给永磁体提供特定形状，以使永磁场具有特定预期磁场分布。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供了一种磁性传感器装置，包括：多个电线；磁体，所述磁体包括聚合物和磁性粒子的材料组合物，所述材料组合物附着于至少一个电线；以及与所述磁体相邻的磁性传感器芯片。

根据本发明的另一个方面，提供了一种磁性传感器装置，包括：磁性传感器芯片；多个电线；以及永磁体，被构造成用于产生偏置磁场，所述永磁体被设置为使得所述多个电线中的至少一个电线延伸通过所述永磁体。

根据本发明的再一个方面，提供了一种磁性传感器装置，包括：引线框架，包括引线脚；磁性传感器芯片，附着于至少一个引线脚；以及磁体，包括聚合物和磁性粒子的材料组合物，所述材料组合物附着于至少一个引线脚。

根据本发明的一个方面，提供了一种用于制造磁性传感器装置的方法，所述方法包括：提供多个电线；提供磁性传感器芯片；将磁体附着于至少一个电线，所述磁体包括聚合物和磁性粒子的材料组合物。

根据本发明的又一个方面，提供了一种用于制造磁性传感器装置的方法，所述方法包括：提供包括多个引线脚的引线框架；提供磁性传感器芯片；以及将聚合物和磁性或可磁化粒子的材料组合物模制于至少一个引线脚上或周围。

附图说明

附图被包含进来是为了用于进一步理解实施例，所述附图并入该说明书且构成该说明书的一部分。附图示出了实施例，并与描述一起用于对实施例的原理进行解释。参考以下详细说明，其他实施例和实施例的多个预期优点可更好理解。附图中的元件不一定相对于彼此是按比例的。相似参考数字表示相应的相似部分。

图1示出了根据一个实施例的磁性传感器装置的示意截面侧视图；

图2示出了根据一个实施例的磁性传感器装置的示意截面侧视图；

图3A-3C示出了根据实施例的磁性传感器装置的示意截面侧视图；

图4A-4C示出了根据实施例的磁性传感器装置的示意截面侧视图；

图5A-5C示出了根据实施例的磁性传感器装置的示意截面侧视图；

图6示出了根据一个实施例的磁性传感器装置的示意性立体图；

图7示出了用于制造根据一个实施例的磁性传感器装置的方法的流程图；

图8示出了用于制造根据一个实施例的磁性传感器装置的方法的流程图；

图9A-9D示出了用于制造根据一个实施例的磁性传感器装置的方法的示意顶视图和侧视图；以及

图10A-10C示出了用于获得根据一个实施例的图10C所示的中间产品的方法步骤的示意截面侧视图。

具体实施方式

现在将参考附图对上述方面和实施例进行说明，其中，附图中相似参考数字一般用于指代相似元件。在以下说明中，为了便于解释，陈述了多个具体细节，以提供对实施例的一个或多个方面的彻底理解。但是，本领域的技术人员应理解的是，实施例的一个或多个方面可用较低程度的具体细节实施。在其他情况下，已知结构和元件以示意性形式显示，以便于对实施例的一个或多个方面进行说明。应理解的是，只要不脱离本发明的范围，可使用其他实施例，或可对结构或逻辑进行改变。应进一步注意的是，附图并不是按比例的，或不一定是按比例的。