[发明专利]一种测量微位移的简易装置

说明书

 

技术领域

本发明涉及微位移检测技术领域，特别涉及一种测量微位移的简易装置。

背景技术

随着微电子技术、宇航、生物工程等学科的发展，对精密机械和仪器的精度要求越来越高，其中物质的微位移是一项重要的检测指标，目前对微位移的检测主要有机械式传感器、光电式传感器和电子式传感器，其中机械式传感器仅能用于接触式检测，电子式传感器精度不够，而现有的一些光电式传感器虽然能够用于无接触检测，且精度能基本达到要求，但是其量程有限，无法在工业上广泛应用。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种测量微位移的简易装置。

基于此，本发明采用的技术方案是：

一种测量微位移的简易装置，包括激光发射器1，激光发射器1发射的光路与待测物体4有斜向夹角，激光发射器1的发射光路上依次设置有准直透镜2和光阑3，发射光经准直透镜2和光阑3后照射至待测物体4上，在待测物体4上产生的反射光路上依次设置有聚焦透镜5和线阵CCD单元6，线阵CCD单元6的输出经信号处理电路7后输入至处理器8。

与现有技术相比，本发明能够进行无接触的微位移测量，测量精度高，装置的量程范围广，能够将结果实时进行处理，现场得到检测结果，使用非常方便。

附图说明

附图为本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行更详尽的说明。

如图所示，本发明为一种测量微位移的简易装置，包括激光发射器1，激光发射器1发射的光路与待测物体4有斜向夹角，激光发射器1的发射光路上依次设置有准直透镜2和光阑3，发射光经准直透镜2和光阑3后照射至待测物体4上，在待测物体4上产生的反射光路上依次设置有聚焦透镜5和线阵CCD单元6，线阵CCD单元6的输出经信号处理电路7后输入至处理器8。

本发明的工作原理是：

激光发射器1发射的激光经过准直透镜2后准直成为平行光，然后由光阑3对光束直径进行调整，调整后的光入射到待测物体4上，产生反射。反射光经聚焦透镜5后成为小直径的光斑，该光斑入射至线阵CCD单元6上。当待测物体4进行移动时，光斑会发生一定的变化，线阵CCD单元6对应的产生信号也会相应变化。该变化被输出后由信号处理电路7进行必要的放大等处理，然后交由单片机与设定参数进行对比，以判定其位移的量。