[发明专利]一种监控设备运行状态的系统及方法有效

专利信息
申请号: 201210432475.9 申请日: 2012-11-02
公开(公告)号: CN102937802A 公开(公告)日: 2013-02-20
发明(设计)人: 张晓东;周利民;李臻 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 竺路玲
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 监控 设备 运行 状态 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种监控设备运行状态的系统,应用于自动化生产线上,包括用于对芯片进行工艺处理的生产设备,其特征在于,还包括: 

监测模块,与所述生产设备进行通讯连接,以用于从所述生产设备上提取设备信息;

判断模块,分别与所述自动化生产线和所述检测模块进行通讯连接,根据提取的所述设备信息判断所述生产设备的运行状态,并根据该运行状态决定是否触发警报。

2.根据权利要求1所述的监控设备运行状态的系统,其特征在于,还包括与所述判断模块连接的报警装置,接收所述警报并发出声光警报。

3.根据权利要求1所述的监控设备运行状态的系统,其特征在于,还包括与所述判断模块连接的显示装置,用于显示触发警报的生产设备的信息。

4.根据权利要求1所述的监控设备运行状态的系统,其特征在于,所述判断模块中根据所述生产设备中进行的工艺预设有常规作业时间值。

5.根据权利要求4所述的监控设备运行状态的系统,其特征在于,所述设备信息包括所述生产设备中是否有任一批次作业中,若有,则还包括该生产设备中最后开始作业批次的开始时间。

6.根据权利要求5所述的监控设备运行状态的系统,其特征在于,所述生产设备中无任一批次作业中时,所述判断模块判断所述生产设备疑似死机状态,同时触发警报;反之,则根据生产设备中最后开始作业批次的开始时间计算其进行工艺的时间值,若该时间值大于系统设定的常规作业时间值,则所述判断模块判断所述生产设备疑似死机状态,同时触发警报。

7.一种监控设备运行状态的方法,包括权利要求1-6中任意一项所述的系统,其特征在于,

抽取所述生产设备的设备信息;

当所述生成设备处于产品生产状态时,判断该生产设备中是否有任一批次作业中;

若该生产设备中无任一批次作业中,则判断所述生产设备疑似死机状态,同时触发警报;

若该生产设备中有任一批次作业中,则根据生产设备中最后开始作业批次的开始时间计算其进行工艺的时间值;

若进行工艺的时间值大于系统设定的常规作业时间值,则判断所述生产设备疑似死机状态,同时触发警报;反之,则判断所述生产设备运行状态正常,并继续工艺。

8.根据权利要求7所述的监控设备运行状态的方法,其特征在于,还包括上述触发警报的同时,通过显示模块将生产设备信息显示。

9.根据权利要求7所述的监控设备运行状态的方法,其特征在于,还包括进行上述判断工艺步骤的判断模块,并采用监测模块抽取所述生产设备的设备信息。

10.根据权利要求7所述的监控设备运行状态的系统,其特征在于,还包括与所述判断模块连接的报警装置,以接收所述警报并发出声光警报。

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