[发明专利]一种高压集成电路的互连结构无效
| 申请号： | 201210432010.3 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN103022004A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 乔明;张昕;许琬;李燕妃;周锌;吴文杰;张波 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/528 | 分类号： | H01L23/528 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李顺德;王睿 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高压 集成电路 互连 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种高压集成电路的互连结构，用于具有横向高压功率器件的高压集成电路中，包括多条窄线宽的金属连线；所述多条窄线宽的金属连线一端与横向高压功率器件的漏极或阳极相连，另一端与高压集成电路的高压电路相连；多条窄线宽的金属连线共同分担横向高压功率器件所承载的电流大小，各条窄线宽的金属连线之间具有相应的间距。
2.根据权利要求1所述的高压集成电路的互连结构，其特征在于，所述横向高压功率器件是圆形横向高压功率器件或椭圆跑道型横向高压功率器件。
3.根据权利要求1所述的高压集成电路的互连结构，其特征在于，所述横向高压功率器件是N沟道或P沟道的单RESURF LDMOS、双RESURF LDMOS、LIGBT或3D RESURFLDMOS。
4.根据权利要求1所述的高压集成电路的互连结构，其特征在于，所述窄线宽的金属连线的数量、线宽和间距，可相同或不相同。
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