[发明专利]正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、液晶显示装置及有机电致发光显示装置有效
申请号: | 201210431750.5 | 申请日: | 2012-11-01 |
公开(公告)号: | CN103091986B | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 米泽裕之;川岛敬史;山﨑健太;疋田政宪 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1333;H01L27/32;H01L51/54 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 日本东京港区*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组成 硬化 及其 形成 方法 液晶 显示装置 有机 电致发光 | ||
1.一种正型感光性树脂组成物,其特征在于包括:
成分A:含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分,
(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物,
(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物;
成分C:光酸产生剂;以及
成分D:溶剂;进而包括
成分X:由下述式(X3)所表示的化合物;
Roo-[(CH
(X3)
式中,X表示下述式(X1),a表示2~3的整数,n表示1~5的整数,Roo表示单键、-CR
或包含这些基的2个以上的组合的基,其中R为氢原子或碳数为1~3的烷基,
式中,R
2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于:所述构成单元(X1)之中,R
3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于:相对于树脂组成物的除溶剂以外的成分的合计,所述成分X的含量为0.1wt%以上。
4.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于:所述构成单元(a1)为具有羧基由缩醛或缩酮保护的残基的构成单元。
5.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于:所述构成单元(a1)为由式(a1-1)所表示的构成单元,
式中,R
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